講演名 1998/10/29
プラズマ重合エチレン薄膜の交流絶縁薄膜および直流電気伝導に及ぼす電極効果
昼田 裕, 国広 雄二, 伊東 栄次, 宮入 圭一,
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抄録(和) 本研究はプラズマ重合エチレン薄膜における交流絶縁破壊機構の解明を目的とし、交流絶縁破壊時の電圧波形における印加電圧の極性やその電極効果および絶縁破壊の強さの温度依存性を調査した。その結果、破壊の生じる電圧極性が電極に依存することや絶縁破壊の強さが高温及び低周波領域で低下することが分かった。また、絶縁破壊の前駆過程である高電界直流電気伝導を調査した結果、高電界電気伝導において正孔注入が支配的であることが示唆された。
抄録(英) The oscillograms of AC breakdown and DC conduction in plasma polymerized ethylene (PPE) films sandwiched between Au and Al or two Al electrodes were measured in a dark vacuum vessel at various temperatures. It was experimentally found that both the ratio of polarity in AC self-healing breakdown and DC conduction current depended on the lower electrode materials. It was also found that the breakdown field decreased with the increment of temperature and with the decrement of frequency. It was suggested that the hole injection at the metal/film interface play an important role in AC breakdown and DC conduction in PPE thin film device.
キーワード(和) プラズマ重合エチレン薄膜 / 交流絶縁破壊 / 自己回復性破壊 / 電極効果 / 直流電気伝導
キーワード(英) plasma polymerized ethylene / AC breakdown / self-healing breakdown / electrode effect / DC conduction
資料番号 CPM98-121
発行日

研究会情報
研究会 CPM
開催期間 1998/10/29(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Component Parts and Materials (CPM)
本文の言語 JPN
タイトル(和) プラズマ重合エチレン薄膜の交流絶縁薄膜および直流電気伝導に及ぼす電極効果
サブタイトル(和)
タイトル(英) Electrode effects on AC breakdown and DC conduction in plasma polymerized ethylene thin fioms
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) プラズマ重合エチレン薄膜 / plasma polymerized ethylene
キーワード(2)(和/英) 交流絶縁破壊 / AC breakdown
キーワード(3)(和/英) 自己回復性破壊 / self-healing breakdown
キーワード(4)(和/英) 電極効果 / electrode effect
キーワード(5)(和/英) 直流電気伝導 / DC conduction
第 1 著者 氏名(和/英) 昼田 裕 / Yu Hiruta
第 1 著者 所属(和/英) 信州大学工学部電気電子工学科
Department of Electrical and Electronic Engineering, Shinshu University
第 2 著者 氏名(和/英) 国広 雄二 / Yuji Kunihiro
第 2 著者 所属(和/英) 信州大学工学部電気電子工学科
Department of Electrical and Electronic Engineering, Shinshu University
第 3 著者 氏名(和/英) 伊東 栄次 / Eiji Itoh
第 3 著者 所属(和/英) 信州大学工学部電気電子工学科
Department of Electrical and Electronic Engineering, Shinshu University
第 4 著者 氏名(和/英) 宮入 圭一 / Keiichi Miyairi
第 4 著者 所属(和/英) 信州大学工学部電気電子工学科
Department of Electrical and Electronic Engineering, Shinshu University
発表年月日 1998/10/29
資料番号 CPM98-121
巻番号(vol) vol.98
号番号(no) 376
ページ範囲 pp.-
ページ数 6
発行日