| 講演名 | 1995/8/4 酸素含有カーボンスパッタ薄膜の諸特性 星 陽一, 鈴木 敦, Judy H. Jack, |
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| 抄録(和) | ハードデスクなどの保護膜として用いられているダイヤモンドライクカーボン薄膜の硬さをさらに高める目的で、ArとO_2混合ガス中でのスパッタによりカーボン薄膜を堆積させた。その結果、酸素濃度が60%以上になると、急激に膜堆積速度は減少して、膜の堆積が困難になるものの、酸素濃度50%までは膜の堆積速度はほとんど変化せず、膜が形成されることが分かった。これらのカーボン薄膜の構造は、酸素濃度の増加に伴いポーラスとなり、かつ膜の基板との付着率も低下した。またこれらのカーボン膜中には酸素が取り込まれており、酸素濃度の増加に伴い、膜の抵抗率やオプティカルバンドギャップの増加、屈折率、消衰係数の減少、および膜硬度の増加が起こることが分かった。 |
| 抄録(英) | In order to improve protective properties of diamond like carbon films, we deposited the carbon films by sputtering in Ar+O_2 mixture. The film deposition rate changed little with the O_2 gas ratio in the sputtering gas when the sputtering was performed at the oxygen gas ratio below 50%. However, it decreased steeply as the oxygen gas ratio increased above 60%. The carbon films deposited in the Ar+O_2 mixture contain oxygen. The structure of the film became porous and adhesion of the film between the substrate became poor as the oxygen gas ratio increased. The increase in the oxygen gas ratio in the sputtering gas leads to a remarkable increase in Vicker's hardness and resistivity of the film, and leads to a decrease in its refractive index and extinction coefficient. |
| キーワード(和) | ダイヤモンドライクカーボン薄膜 / 保護膜 / スパッタリング / 酸素添加効果 / ビッカース硬度 |
| キーワード(英) | diamond like carbon film / sputtering / protective coating / oxygen added carbon / Vicker's hardness |
| 資料番号 | |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 1995/8/4(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 酸素含有カーボンスパッタ薄膜の諸特性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | PROPERTIES OF DIAMOND LIKE CARBON FILMS DEPOSITED BY SPUTTERING IN Ar AND O_2 MIXTURE |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ダイヤモンドライクカーボン薄膜 / diamond like carbon film |
| キーワード(2)（和/英） | 保護膜 / sputtering |
| キーワード(3)（和/英） | スパッタリング / protective coating |
| キーワード(4)（和/英） | 酸素添加効果 / oxygen added carbon |
| キーワード(5)（和/英） | ビッカース硬度 / Vicker's hardness |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 星 陽一 / Y. Hoshi |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京工芸大学工学部 Faculty of Engineering, Tokyo Institute of Polytechnics |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 鈴木 敦 / A. Suzuki |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 花王株式会社、情報科学研究所 Recording and Imaging Science Laboratory, Kao Corporation |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | Judy H. Jack / H. J. Judy |
| 第 3 著者 所属（和/英） | The Center for Micromagnetics and Information Technologies, University of Minnesota The Center for Micromagnetics and Information Technologies, University of Minnesota |
| 発表年月日 | 1995/8/4 |
| 資料番号 | |
| 巻番号（vol） | vol.95 |
| 号番号（no） | 204 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |