| 講演名 | 1995/7/7 デジタル信号処理を用いたLAPSイメージセンサの高速化 内田 秀和, 濱 勝広, 張 文芸, 勝部 昭明, |
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| 抄録(和) | 走査型表面光電圧法を用いた化学センサにおいて観測信号のデジタル化並列処理技術を開発することにより、高精細な化学量イメージを短時間に測定可能なシステムを製作した。本システムは変調励起光をセンサ表面で繰り返し掃引した時に観測される表面光電圧波形をAD変換したのち、同期検波と積分を各測定点について並列に数値処理を行う。積分プロセスを並列化することにより測定時間を大幅に短縮することが可能となった。この高速スキャンLAPSシステムを用いて4×4mmのセンサ表面を80×80の解像度で測定した場合にかかる時間はおよそ30minであり、従来のLAPS測定法の約12倍の高速測定が可能であることがわかった。 |
| 抄録(英) | High speed two dimensional SPV (Surface Photovoltage) sensing system based on a digital data processing was developed and applied to an in-situ monitoring of chemical images. The SPV signal generated by a modulated light beam, which was continuously scanned repeatedly on a sensor substrate, was directly memorized in a computer. Then signal integration of all measurement points was carried out in parallel each other by numerical calculation. For the formation of the image of 6400 data points, the fabricated system needs about 30 min, which is at least one order of magnitude faster than that of a conventional analog SPV system. It was also shown that optimum design of digital filter lead to high SN ratio by iterating the beam scanning several times. |
| キーワード(和) | 表面光電圧法 / 化学イメージセンサ / パラレル・ロックインアンプ / 並列積分 |
| キーワード(英) | Surface photovoltage / Chemical image sensor / Parallel lock-in amplifier / Parallel integration |
| 資料番号 | |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 1995/7/7(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | デジタル信号処理を用いたLAPSイメージセンサの高速化 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | High speed LAPS image sensor using digital signal processing |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 表面光電圧法 / Surface photovoltage |
| キーワード(2)（和/英） | 化学イメージセンサ / Chemical image sensor |
| キーワード(3)（和/英） | パラレル・ロックインアンプ / Parallel lock-in amplifier |
| キーワード(4)（和/英） | 並列積分 / Parallel integration |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 内田 秀和 / Hidekazu Uchida |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 埼玉大学工学部情報システム工学科 Department of Information and Computer Science, Faculty of Engineering, Saitama University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 濱 勝広 / Katsuhiro Hama |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 埼玉大学工学部情報システム工学科 Department of Information and Computer Science, Faculty of Engineering, Saitama University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 張 文芸 / Weyni Zhang |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 埼玉大学工学部情報システム工学科 Department of Information and Computer Science, Faculty of Engineering, Saitama University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 勝部 昭明 / Teruaki Katsube |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 埼玉大学工学部情報システム工学科 Department of Information and Computer Science, Faculty of Engineering, Saitama University |
| 発表年月日 | 1995/7/7 |
| 資料番号 | |
| 巻番号（vol） | vol.95 |
| 号番号（no） | 138 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |