| 講演名 | 1996/6/21 表面処理した多孔質陽極酸化膜を用いた湿度センサ 根本 光太郎, Chakraborty Supratic, 原 和裕, |
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| 抄録(和) | 多孔質アルミナ(Al_2O_3)が感湿特性を示すことは古くから知られている。本報告では、この多孔質を用いた新しい湿度センサについて述べるこのセンサは多孔質膜の上に高周波スパッタリング法を用いて薄いAl_2O_3膜を付けた後、テフロンまたはLiClをそれぞれイオンビームスパッタ法により堆積または、薄い溶液に浸積するにより作成した。この実験の結果、湿度に対する感度はテフロンまたはLiClを付けることにより増加することがわかった。 |
| 抄録(英) | It is well known that porous alumina films are sensitive to humidity change. This paper presents a new humidity sensor based on this film; Teflon or LiCl is deposited on it by ion beam deposition technique or by dipping it into an aqueous solution of LiCl respectively, after the deposition of thin Al_2O_3 film by rf sputtering. It is found that its sensitivity increases after the deposition of Teflon or LiCl. |
| キーワード(和) | 湿度センサ / 多孔質アルミナ / 陽極酸化膜 / 塩化リチウム / テフロン |
| キーワード(英) | Humidity sensors / Porous alumina / Anodized film / Lithium chloride / Teflon |
| 資料番号 | CPM96-38,OME96-25 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 1996/6/21(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 表面処理した多孔質陽極酸化膜を用いた湿度センサ |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Humidity Sensors Using Porous Anodized Film with Surface Modifications |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 湿度センサ / Humidity sensors |
| キーワード(2)（和/英） | 多孔質アルミナ / Porous alumina |
| キーワード(3)（和/英） | 陽極酸化膜 / Anodized film |
| キーワード(4)（和/英） | 塩化リチウム / Lithium chloride |
| キーワード(5)（和/英） | テフロン / Teflon |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 根本 光太郎 / Kohtaro Nemoto |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京電機大学工学部 College of Engineering, Tokyo Denki University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | Chakraborty Supratic / Supratic Chakraborty |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京電機大学工学部 College of Engineering, Tokyo Denki University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 原 和裕 / Kazuhiro Hara |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東京電機大学工学部 College of Engineering, Tokyo Denki University |
| 発表年月日 | 1996/6/21 |
| 資料番号 | CPM96-38,OME96-25 |
| 巻番号（vol） | vol.96 |
| 号番号（no） | 121 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |