講演名 1996/11/7
TiO_2:Ptスパッタ膜の酸素センサおよび光触媒への応用
深海 龍夫, 盛 建新, Shivalingappa L., 柄沢 潤一,
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抄録(和) マグネトロンスパッタにより作製されたTiO_2:Pt膜の酸素センセング特性および光触媒効果を観察した。理論空燃比において急激に抵抗が変化するTiO_2:Pt薄膜は、酸化あるいは還元雰囲気を容易に判別することができる。ZnCr_2O_4やTiO_2:V_2O_5などの温度補償サーミスタを用いたTiO_2:Pt集積型酸素センサは、広い温度領域で温度の影響を受けずに安定した出力を示す。薄膜の光触媒効果はルチル構造よりアナタース構造の方がはるかに効果的である。薄膜中の白金量は結晶構造および光触媒効果に顕著な影響を及ぼし、白金量が1.3%の試料において最大光触媒効果を示した。
抄録(英) The oxygen sensing properties and photocatalytic effect were investigated in the TiO_2:Pt ceramet film prepared by tripole magnetron sputtering system. The TiO_2:Pt film sensor shows high gas sensitivity and fast response in the neighborhood of stoichiometric air/fuel ratio, and can distinguish oxidative or reductive gases regardless of temperature fluctuation if integrated in series with ZnCr_2O_4 or TiO_2:V_2O_5 film thermistor. The photocatalytic activity of the films was studied through the decomposition of acetic acid by UV irradiation. Results showed that the formation of anatase phase in the films contributes to the increase of activity. The maximum activity was observed for 1.3% of platinum in the film.
キーワード(和) マグネトロンスパッ夕 / TiO_2:Pt薄膜 / 酸素センサ / 光触媒効果
キーワード(英) Magnetron sputtering / TiO_2:Pt thin film / oxygen sensor / photocatalytic effect
資料番号 CPM96-99
発行日

研究会情報
研究会 CPM
開催期間 1996/11/7(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Component Parts and Materials (CPM)
本文の言語 JPN
タイトル(和) TiO_2:Ptスパッタ膜の酸素センサおよび光触媒への応用
サブタイトル(和)
タイトル(英) Application of sputtered TiO_2:Pt film to oxygen sensor and photocatalysis
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) マグネトロンスパッ夕 / Magnetron sputtering
キーワード(2)(和/英) TiO_2:Pt薄膜 / TiO_2:Pt thin film
キーワード(3)(和/英) 酸素センサ / oxygen sensor
キーワード(4)(和/英) 光触媒効果 / photocatalytic effect
第 1 著者 氏名(和/英) 深海 龍夫 / Tatsuo Fukami
第 1 著者 所属(和/英) 信州大学工学部
Faculty of Engineering, Shinshu University
第 2 著者 氏名(和/英) 盛 建新 / Jianxin Sheng
第 2 著者 所属(和/英) 信州大学工学部
Faculty of Engineering, Shinshu University
第 3 著者 氏名(和/英) Shivalingappa L. / L. Shivalingappa
第 3 著者 所属(和/英) 信州大学工学部
Faculty of Engineering, Shinshu University
第 4 著者 氏名(和/英) 柄沢 潤一 / Junichi Karasawa
第 4 著者 所属(和/英) 信州大学工学部
Faculty of Engineering, Shinshu University
発表年月日 1996/11/7
資料番号 CPM96-99
巻番号(vol) vol.96
号番号(no) 349
ページ範囲 pp.-
ページ数 6
発行日