| 講演名 | 1996/11/7 強誘電体薄膜の微細構造の制御 和佐 清孝, 羽根田 陽子, 佐藤 利文, 足立 秀明, 瀬恒 謙太郎, |
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| 抄録(和) | スパッタ法で形成したPb-Ti-O系ペロブスカイト構造ヘテロエピタキシャル薄膜の微細構造とミスカット基板を用いたPbTiO_3薄膜微細構造の制御について、この種の薄膜の光導波路デバイス、強誘電体メモリーなどへの応用と関連させた実験を紹介する。 |
| 抄録(英) | This paper describes microstructures of sputtered thin films of Pb-Ti-O family and microstructural control of PbTiO_3 thin films by using miscut substrates in relation to their application for optical waveguide and ferroelectric memory devices. |
| キーワード(和) | ペロブスカイト薄膜 / エピタキシャルPbTiO_3 / エピタキシャルPLT / スパッタリング / 微細構造 / ミスカット基板 |
| キーワード(英) | perovskite thin films / epitaxial PbTiO_3 / epitaxial PLT / sputtering / microstructure / miscut substrate |
| 資料番号 | CPM96-96 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 1996/11/7(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 強誘電体薄膜の微細構造の制御 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Microstructural Control of Ferroelectric Thin Films |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ペロブスカイト薄膜 / perovskite thin films |
| キーワード(2)（和/英） | エピタキシャルPbTiO_3 / epitaxial PbTiO_3 |
| キーワード(3)（和/英） | エピタキシャルPLT / epitaxial PLT |
| キーワード(4)（和/英） | スパッタリング / sputtering |
| キーワード(5)（和/英） | 微細構造 / microstructure |
| キーワード(6)（和/英） | ミスカット基板 / miscut substrate |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 和佐 清孝 / Kiyotaka Wasa |
| 第 1 著者 所属（和/英） | (財)地球環境産業技術研究機構 Research Institute of Innovative Technology for the Earth |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 羽根田 陽子 / Yoko Haneda |
| 第 2 著者 所属（和/英） | (財)地球環境産業技術研究機構 Research Institute of Innovative Technology for the Earth |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 佐藤 利文 / Toshifumi Sato |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 松下電器産業中央研究所 Matsushita Electric Co., Ltd. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 足立 秀明 / Hideaki Adachi |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 松下電器産業中央研究所 Matsushita Electric Co., Ltd. |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 瀬恒 謙太郎 / Kentaro Setsune |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 松下電器産業中央研究所 Matsushita Electric Co., Ltd. |
| 発表年月日 | 1996/11/7 |
| 資料番号 | CPM96-96 |
| 巻番号（vol） | vol.96 |
| 号番号（no） | 349 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 7 |
| 発行日 | |