| 講演名 | 1997/10/31 酸化タンタル薄膜の光デバイスへの応用に関する基礎特性 : 電気的および光学的特性 羽多野 正亮, 宮入 圭一, |
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| 抄録(和) | 酸化タンタル薄膜による薄膜光導波路の作成を目的とし、試料作成時のスパッタターゲットを替えて作成した薄膜について、電気的および光学的特性を測定し、薄膜の酸化状態と関連していることから調査した。オージェ電子分光分析法により、酸化タンタルターゲットを用いた膜の方が酸化が促進していることが確認された。また、試料の酸化状態によりtanδおよび比誘電率、等価屈折率には違いが見られたが、光伝搬損失には違いが見られず、光伝搬にはバルクの若干の特性の差よりも薄膜の表面および底面界面の方が重要であることが分かった。 |
| 抄録(英) | In order to fabricate an optical waveguide with a TaOx thin film, electrical and optical properties of films prepared by the sputtering method were investigated from the viewpoint of the oxidation quality. The oxidation of films was measured by AES (Auger Electron Spectroscopy). Ta_2O_5 target gives a better result than Ta target. Though films prepared by the sputtering of Ta_2O_5 target and Ta target give different results in electrical and optical properties, there was no difference in the optical propagating properties. |
| キーワード(和) | 酸化タンタル薄膜 / 酸化膜 / スパッタ / ターゲット / 光伝搬損失 |
| キーワード(英) | TaOx thin film / Oxide film / Sputtering / Target / Optical propagation loss |
| 資料番号 | CPM97-130 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 1997/10/31(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 酸化タンタル薄膜の光デバイスへの応用に関する基礎特性 : 電気的および光学的特性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | The Basic Properties of TaOx Thin Films for the Optical Device application : electrical and optical properties |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 酸化タンタル薄膜 / TaOx thin film |
| キーワード(2)（和/英） | 酸化膜 / Oxide film |
| キーワード(3)（和/英） | スパッタ / Sputtering |
| キーワード(4)（和/英） | ターゲット / Target |
| キーワード(5)（和/英） | 光伝搬損失 / Optical propagation loss |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 羽多野 正亮 / M. Hatano |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 信州大学工学部 Faculty of Engineering, Shinshu University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 宮入 圭一 / K. Miyairi |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 信州大学工学部 Faculty of Engineering, Shinshu University |
| 発表年月日 | 1997/10/31 |
| 資料番号 | CPM97-130 |
| 巻番号（vol） | vol.97 |
| 号番号（no） | 355 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |