| 講演名 | 1997/10/31 SHGレーザビーム描画装置の開発 原野 正幸, 鳥羽 栄治, 児島 由尚, 西松 豊典, |
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| 抄録(和) | レーザビームを使用して, 基板の描画線幅が数μmオーダのパターンを直接描画することが可能なフォトリングラフィ技術に着目して, 本研究では複数枚の反射率の異なる光導波路基板 (LiNbO_3) に連続的にパターニング可能なSHGレーザビーム描画装置を開発した. レーザビーム描画する場合, 基板の描画パターン線幅の任意設計を可能にするための手法として, 重回帰分析法により, フォトレジストの膜厚, 基板の反射率, 描画光強度, 描画速度の4つのパラメータを変数とした重回帰式を導出した. この重回帰式の妥当性と有効性について検討を加え, 更に本レーザビーム描画装置で効率的に所望の描画線幅のパターニングが可能であることを明らかにした. |
| 抄録(英) | In this study, we have developed the SHG laser beam pattern writing system. The system is suitable for writing patterns of the order of several-microns in a mask-less manner. To make optical waveguides efficiently, we adopted a specially designed holder and improved the algorithm of the autofocus control. Such improvement made it possible to pattern substrates with different reflectance. Moreover, to make an arbitrary design of the pattern linewidth possible, the multiple regression equation by using multiple regression analysis was used. As a result, it was found that the multiple regression equation produces patterns in good agreement with designed values. |
| キーワード(和) | レーザビーム / 直接描画 / SHGレーザ / 光導波路 / 重回帰分析 / オートフォーカス |
| キーワード(英) | laser beam / direct writing / SHG laser / optical waveguide / multiple regression analysis / autofocus |
| 資料番号 | CPM97-116 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 1997/10/31(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | SHGレーザビーム描画装置の開発 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Development of a SHG Laser Beam Writing System |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | レーザビーム / laser beam |
| キーワード(2)（和/英） | 直接描画 / direct writing |
| キーワード(3)（和/英） | SHGレーザ / SHG laser |
| キーワード(4)（和/英） | 光導波路 / optical waveguide |
| キーワード(5)（和/英） | 重回帰分析 / multiple regression analysis |
| キーワード(6)（和/英） | オートフォーカス / autofocus |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 原野 正幸 / Masayuki HARANO |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 信州大学繊維学部 繊維システム工学科:日置電機株式会社 Department of Textile System Engineering, Faculty of Textile Science and Technology, Shinshu University:HIOKI E. E. Corporation |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 鳥羽 栄治 / Eiji TOBA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 信州大学繊維学部 繊維システム工学科 Department of Textile System Engineering, Faculty of Textile Science and Technology, Shinshu University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 児島 由尚 / Yoshinao KOJIMA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 信州大学繊維学部 繊維システム工学科 Department of Textile System Engineering, Faculty of Textile Science and Technology, Shinshu University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 西松 豊典 / Toyonori NISHIMATSU |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 信州大学繊維学部 繊維システム工学科 Department of Textile System Engineering, Faculty of Textile Science and Technology, Shinshu University |
| 発表年月日 | 1997/10/31 |
| 資料番号 | CPM97-116 |
| 巻番号（vol） | vol.97 |
| 号番号（no） | 355 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 8 |
| 発行日 | |