| 講演名 | 1997/5/23 X線CTR散乱と干渉によるヘテロ界面構造の評価 竹田 美和, 田渕 雅夫, 一木 悟史, 藤田 敬次, |
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| 抄録(和) | 放射光を用いた強力なX線と超高感度の2次元検出器であるイメージング・プレートにより、CTR(Crystal Truncation Rod)を広い範囲にわたって測定することができる。主として結晶表面の凹凸を原子レベルで測定するために用いられていたX線CTR散乱を、ヘテロ界面の構造(界面位置、組成分布、結晶構造等)の解析に用いることが出来ることを示し、更に、1原子層レベルでそれらを明らかにできる強力な手法であることを実例を以って示す。 |
| 抄録(英) | It is demonstrated that x-ray CTR (crystal truncation rod) scattering with x. ray interference is a very powerful technique to characterize the heterointerface structurs, to 1 atomic layer level, in terms of the location of the interface, composition distribution, and crystal structures. High intensity x-ray from synchrotron radiation source and imaging plate as a two-dimensional detector are essential tools for the CTR measurement. Several examples of the experimental results are shown. |
| キーワード(和) | X線CTR散乱 / イメージング・プレート / ヘテロ界面 / 構造評価 / 原子レベル |
| キーワード(英) | X-ray CTR Scattering / Imaging Plate / Heretointerface / Structures / Atomic Level |
| 資料番号 | ED97-28,CPM97-16 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 1997/5/23(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | X線CTR散乱と干渉によるヘテロ界面構造の評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Characterization of Heterointerface Structures by X.Ray CTR Scattering and Interference |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | X線CTR散乱 / X-ray CTR Scattering |
| キーワード(2)（和/英） | イメージング・プレート / Imaging Plate |
| キーワード(3)（和/英） | ヘテロ界面 / Heretointerface |
| キーワード(4)（和/英） | 構造評価 / Structures |
| キーワード(5)（和/英） | 原子レベル / Atomic Level |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 竹田 美和 / Yoshikazu Takeda |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 名古屋大学大学院工学研究科材料機能工学専攻 Department of Materials Science and Engineering, Graduate School of Engineering Nagoya University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 田渕 雅夫 / Masao Tabuchi |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 名古屋大学大学院工学研究科材料機能工学専攻 Department of Materials Science and Engineering, Graduate School of Engineering Nagoya University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 一木 悟史 / Satofumi Ichiki |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 名古屋大学大学院工学研究科材料機能工学専攻 Department of Materials Science and Engineering, Graduate School of Engineering Nagoya University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 藤田 敬次 / Keiji Fujita |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 名古屋大学大学院工学研究科材料機能工学専攻 Department of Materials Science and Engineering, Graduate School of Engineering Nagoya University |
| 発表年月日 | 1997/5/23 |
| 資料番号 | ED97-28,CPM97-16 |
| 巻番号（vol） | vol.97 |
| 号番号（no） | 61 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 8 |
| 発行日 | |