| 講演名 | 1997/5/23 光変調分光法を用いたSiO_2/GaAs界面構造の評価 望月 麻帆, 齋藤 忠, |
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| 抄録(和) | GaAsのデバイス開発において、その構造の非接触評価は重要である。本研究では、非破壊・非接触の測定法である分光エリプソメトリーを用いて、SiO_2/GaAs界面構造の評価を行った。また界面でのフェルミ準位等の電子構造を、フォトリフレクタンスと光変調型エリプソメトリーで評価した。解析には誘電関数のフランツ・ケルディッシュ効果を用いた。この結果、光CVDで作製されたSiO_2/GaAs構造が最も良好な界面を持つことがわかった。さらに界面の電子構造のSiO_2膜厚依存性を調べたが、膜厚による変化はみられなかった。以上のことより、SiO_2/GaAs界面構造は膜作製条件に大きく依存することかわかった。 |
| 抄録(英) | In order to develop high performance GaAs devices, it is important to charactcrize the structures non-contactly. In this work, we applied spectroscopic ellipsometry to evaluate the SiO_2 layer thickness and the interface of SiO_2/GaAs. Photoreflectance and photoellipsometry were used as the means to evaluate the Fermi level at the SiO_2/GaAs interface. The measured spectra were analyzed using the Franz-Keldysh effect of dielectric function. As a result, photo-CVD was one of the best method to prepare a good-quality SiO_2/GaAs interface Furthermore, it was found that the interface structures were independent of the SiO_2 layer thickness The interface structures of SiO_2/GaAs were found to depend sensitively on preparation conditions |
| キーワード(和) | 分光エリプソメトリー / 光変調分光法 / 誘電関数 / フランツ-ケルディッシュ効果 |
| キーワード(英) | spectroscopic ellipsometry / photo-modulation / dielectric function / Franz-Keldysh effect |
| 資料番号 | ED97-27,CPM97-15 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 1997/5/23(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 光変調分光法を用いたSiO_2/GaAs界面構造の評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Characterization of SiO_2/GaAs Interface Structures using Photo-Modulation Spectroscopy |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 分光エリプソメトリー / spectroscopic ellipsometry |
| キーワード(2)（和/英） | 光変調分光法 / photo-modulation |
| キーワード(3)（和/英） | 誘電関数 / dielectric function |
| キーワード(4)（和/英） | フランツ-ケルディッシュ効果 / Franz-Keldysh effect |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 望月 麻帆 / M. Mochizuki |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京農工大学工学部 Faculty of Technology, Tokyo University of Agriculture and Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 齋藤 忠 / T. Saitoh |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京農工大学工学部 Faculty of Technology, Tokyo University of Agriculture and Technology |
| 発表年月日 | 1997/5/23 |
| 資料番号 | ED97-27,CPM97-15 |
| 巻番号（vol） | vol.97 |
| 号番号（no） | 61 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 7 |
| 発行日 | |