| 講演名 | 1996/7/22 高速光通信タイミング抽出用高QSAWフィルタの構造とプロセスの検討 浅井 健吾, 磯部 敦, 多田 剛, 疋田 光孝, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ | PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | 2.5-Gb/s高速光通信システムに用いる新構造のSAWフィルタを開発した。本フィルタはSTカット水晶基板上に形成したSAW波長の3λ/8幅のメアンダ状電極と同じく3λ/8幅の励振電極より成るものである。本フィルタの試作には、位相シフト露光法と種種のレジストの検討に基ずく新しいサブミクロンプロセス技術を用いている。挿入損失は14dB以下、Q値は約700で0から60℃の温度範囲で要求されるシステム仕様を全て満足する結果がえられた。 |
| 抄録(英) | A new SAW filter cofiguration that consists of 3λ/8-wide meander-type electrodes and 3λ/8-wide excitation electrodes on ST-cut Quartz was designed for use in 2.5-Gb/s optical communications system. New submicron process techniques using the phase shifting method as well as several types of resist were investigsted to fabricate this filter. It had an insertion loss of less than 14dB and a Q of about 700, and satisfied all required system specifications over a temperature range from 0 to 60℃. |
| キーワード(和) | SAWフィルタ / 高Qフィルタ / 光通信 / タイミング抽出 / 位相シフト露光法 |
| キーワード(英) | SAW filter / High-Q filter / Optical communications / Timing extraction / phase-shift photoprinting |
| 資料番号 | SAT96-44,MW96-55 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SAT |
|---|---|
| 開催期間 | 1996/7/22(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Satellite Telecommunications (SAT) |
|---|---|
| 本文の言語 | ENG |
| タイトル（和） | 高速光通信タイミング抽出用高QSAWフィルタの構造とプロセスの検討 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | High-Q SAW Filter and Submicron Process Technology for Timing-extraction in High-bit-rate Optical Communications System |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | SAWフィルタ / SAW filter |
| キーワード(2)（和/英） | 高Qフィルタ / High-Q filter |
| キーワード(3)（和/英） | 光通信 / Optical communications |
| キーワード(4)（和/英） | タイミング抽出 / Timing extraction |
| キーワード(5)（和/英） | 位相シフト露光法 / phase-shift photoprinting |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 浅井 健吾 / Kenngo Asai |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 日立中央研究所 Central Research Lab., Hitachi Ltd. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 磯部 敦 / Atsushi Isobe |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 日立中央研究所 Central Research Lab., Hitachi Ltd. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 多田 剛 / Takeshi Tada |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 日立デバイスエンニアリング Hitachi Device Engineerlng, Ltd. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 疋田 光孝 / Mitsutaka Hikita |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 日立中央研究所 Central Research Lab., Hitachi Ltd. |
| 発表年月日 | 1996/7/22 |
| 資料番号 | SAT96-44,MW96-55 |
| 巻番号（vol） | vol.96 |
| 号番号（no） | 168 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |