講演名 | 1996/7/22 ダイヤモンドSAWフィルター 中幡 英章, 桧垣 賢次郎, 北林 弘之, 八郷 昭宏, 田辺 敬一朗, 藤井 知, 鹿田 真一, 山本 泰司, 坂入 夏彦, 高橋 義弘, 梶原 隆治, |
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抄録(和) | 物質中で最高の音波伝搬速度を持つダイヤモンドのSAW材料への応用を考え、理論計算及び実験による基礎検討を行った。ZnO/ダイヤ構造では従来材料の倍以上のSAW伝搬速度があることを確認し、GHz帯SAWフィルターへの応用に有利であることを示した。また実際にCVDダイヤモンド膜を用いて1.5GHz帯SAWフィルターを試作した。さらに、SiO2/ZnO/ダイヤ構造では高伝搬速度に加えて零温度係数が可能であることを示し、実際に2.5GHz狭帯域フィルターを試作した。 |
抄録(英) | Diamond has the highest sound velocity among all materials, and it s application to a SAW substrate is interesting. Its basic properties were investigated by theoretical calculations and experiments. It was proved that a ZnO/diamond structure has high velocities more than twice as high as those of conentional materials, and a 1.5 GHz SAW filter was fabricated using a CVD diamond film. It was also proved that a SiO2/ZnO/diamond structure can realize zero temperature coefficient of frequency besides high velocities, and a 2.5 GHz narrow band SAW filter was fabricated. |
キーワード(和) | 表面弾性波 / フィルター / 高周波 / ダイヤモンド / ZnO |
キーワード(英) | SAW / filter / highfrequency / diamond / ZnO |
資料番号 | SAT96-42,MW96-53 |
発行日 |
研究会情報 | |
研究会 | SAT |
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開催期間 | 1996/7/22(から1日開催) |
開催地(和) | |
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テーマ(英) | |
委員長氏名(和) | |
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幹事氏名(和) | |
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幹事補佐氏名(和) | |
幹事補佐氏名(英) |
講演論文情報詳細 | |
申込み研究会 | Satellite Telecommunications (SAT) |
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本文の言語 | JPN |
タイトル(和) | ダイヤモンドSAWフィルター |
サブタイトル(和) | |
タイトル(英) | Diamond SAW Filter |
サブタイトル(和) | |
キーワード(1)(和/英) | 表面弾性波 / SAW |
キーワード(2)(和/英) | フィルター / filter |
キーワード(3)(和/英) | 高周波 / highfrequency |
キーワード(4)(和/英) | ダイヤモンド / diamond |
キーワード(5)(和/英) | ZnO / ZnO |
第 1 著者 氏名(和/英) | 中幡 英章 / H. Nakahata |
第 1 著者 所属(和/英) | 住友電気工業株式会社伊丹研究所 Itami Research Lab., Sumitomo Electric Ind., Ltd |
第 2 著者 氏名(和/英) | 桧垣 賢次郎 / K. Higaki |
第 2 著者 所属(和/英) | 住友電気工業株式会社伊丹研究所 Itami Research Lab., Sumitomo Electric Ind., Ltd |
第 3 著者 氏名(和/英) | 北林 弘之 / H. Kitabayashi |
第 3 著者 所属(和/英) | 住友電気工業株式会社伊丹研究所 Itami Research Lab., Sumitomo Electric Ind., Ltd |
第 4 著者 氏名(和/英) | 八郷 昭宏 / A. Hachigo |
第 4 著者 所属(和/英) | 住友電気工業株式会社伊丹研究所 Itami Research Lab., Sumitomo Electric Ind., Ltd |
第 5 著者 氏名(和/英) | 田辺 敬一朗 / K. Tanabe |
第 5 著者 所属(和/英) | 住友電気工業株式会社伊丹研究所 Itami Research Lab., Sumitomo Electric Ind., Ltd |
第 6 著者 氏名(和/英) | 藤井 知 / S. Fujii |
第 6 著者 所属(和/英) | 住友電気工業株式会社伊丹研究所 Itami Research Lab., Sumitomo Electric Ind., Ltd |
第 7 著者 氏名(和/英) | 鹿田 真一 / S. Shikata |
第 7 著者 所属(和/英) | 住友電気工業株式会社伊丹研究所 Itami Research Lab., Sumitomo Electric Ind., Ltd |
第 8 著者 氏名(和/英) | 山本 泰司 / Y. Yamamoto |
第 8 著者 所属(和/英) | 日本電気株式会社 NEC Corporation |
第 9 著者 氏名(和/英) | 坂入 夏彦 / N. Sakairi |
第 9 著者 所属(和/英) | 日本電気株式会社 NEC Corporation |
第 10 著者 氏名(和/英) | 高橋 義弘 / Y. Takahashi |
第 10 著者 所属(和/英) | 日本電気株式会社 NEC Corporation |
第 11 著者 氏名(和/英) | 梶原 隆治 / R. Kajihara |
第 11 著者 所属(和/英) | 日本電気株式会社 NEC Corporation |
発表年月日 | 1996/7/22 |
資料番号 | SAT96-42,MW96-53 |
巻番号(vol) | vol.96 |
号番号(no) | 168 |
ページ範囲 | pp.- |
ページ数 | 6 |
発行日 |