講演名 1998/12/18
透明性静電気保護膜の試作
室田 修男, 小久保 弘樹, 松生 秀正,
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抄録(和) 電子部品の運搬中における静電気傷害を低減させる技術の一つとして、安価で容易に既存容器等に導電性を付加する技術の確立を目指し、スプレー法による導電性酸化スズ(IV)薄膜の作製を試みた。スプレー法により酸化スズ(IV)薄膜を基板上に作製する場合、基板に細かな霧のみを堆積させると透明な膜を得ることができた。塩化スズ(IV)の加水分解により酸化スズ(IV)薄膜を作製する方法では、220~230℃のところで脱水反応が起こり、導電性が現れるものと思われる。作製時の基板温度が上昇するにつれて、薄膜形成速度は上昇し、薄膜の抵抗率は減少した。
抄録(英) To prevent obstacles of static charge or its discharge, we produced a transparent and conductive thin film experimentally. The aim of this thin film is to add conductivity cheaply and easily to a container for electronic parts. The manufacturing method of the film is to spray raw materials to the target, then the film of the tin oxide is formed on the target with particular process. A transparent film is formed by the fine mist of the raw material. A hydrolysis of tin choloride reacts at least 220℃ to change the tin oxide. According to increase of the temperature of the reaction, the forming speed of the film and conductivity is increased.
キーワード(和) 静電気 / 保護膜 / 導電性薄膜 / 酸化スズ / スプレー法
キーワード(英) static charge / protection film / conductive film / tin oxide / spray method
資料番号 EMCJ98-93
発行日

研究会情報
研究会 EMCJ
開催期間 1998/12/18(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Electromagnetic Compatibility (EMCJ)
本文の言語 JPN
タイトル(和) 透明性静電気保護膜の試作
サブタイトル(和)
タイトル(英) Preparation of transparent and conductive thin films for the protection from static charge
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) 静電気 / static charge
キーワード(2)(和/英) 保護膜 / protection film
キーワード(3)(和/英) 導電性薄膜 / conductive film
キーワード(4)(和/英) 酸化スズ / tin oxide
キーワード(5)(和/英) スプレー法 / spray method
第 1 著者 氏名(和/英) 室田 修男 / Nobuo MUROTA
第 1 著者 所属(和/英) 愛知県工業技術センター
Industrial Research Institute, Aichi Prefectural Government
第 2 著者 氏名(和/英) 小久保 弘樹 / Hiroki KOKUBO
第 2 著者 所属(和/英) 愛知県工業技術センター
Industrial Research Institute, Aichi Prefectural Government
第 3 著者 氏名(和/英) 松生 秀正 / Hidemasa MATSUO
第 3 著者 所属(和/英) 愛知県工業技術センター
Industrial Research Institute, Aichi Prefectural Government
発表年月日 1998/12/18
資料番号 EMCJ98-93
巻番号(vol) vol.98
号番号(no) 493
ページ範囲 pp.-
ページ数 6
発行日