講演名 2001/2/9
新しく開発したAg-Pd-Mg合金における低接触抵抗のメカニズム
玉井 輝雄,
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抄録(和) Ag(40wt%)-Pd(60wt%)合金にMgを1.0wt%程度添加したAg-Pd-Mg合金は低接触抵抗を示すことを見出した。特に、高温酸化等によってその表面に酸化皮膜が生成した場合でも、清浄面とほとんど変わらない低接触抵抗を示す。この論文では、他のAg-Pd系合金と比較しながら、この材料の低接触抵抗特性は母材から拡散するAg原子に起因していることを示した。すなわち、STM像から表面の導電性が高いこと、XPS分析からAg原子が下地の母材から酸化皮膜層の最表面まで分布していることを解明した。なお、Crを添加し場合は、接触抵抗の改善は全く認められなかった。
抄録(英) In order to improve the contact resistance of Ag(40wt%)-Pd(60wt%)alloy, the doping of Mg and Cr into the Ag-Pd was carried out. Ag-Pd with Mg doping indicated marked improvement of the contact resistance behavior. In the present study, the mechanism of the low contact resistance behavior was clarified. From STM images, a high conductivity was found throughout the entire surface of the Ag-Pd-Mg alloy. Furthermore, to determined the mechanism of the high conductivity of the surface of the Ag-Pd-Mg alloy, the depth profile of the element distribution was analyzed using XPS. The results revealed that Ag existed throughout the entire surface of the Ag-Pd-Mg. Even if the surface covered with oxide film, Ag should diffuse from the substrate to the film layer and existence of Ag in the layer causes high conductivity. Thus, the low contact resistance can be obtained.
キーワード(和) Ag-Pd-Mg / Ag-Pd / Ag-Pd-Cr / 接触抵抗 / 酸化物皮膜 / STM像 / 拡散 / Ag / XPS分析
キーワード(英) Ag-Pd-Mg / Ag-Pd / Ag-Pd-Cr / contact resistance / oxide film / SEM image / diffusion / Ag / XPS
資料番号 R2000-42,EMD2000-95
発行日

研究会情報
研究会 R
開催期間 2001/2/9(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Reliability(R)
本文の言語 JPN
タイトル(和) 新しく開発したAg-Pd-Mg合金における低接触抵抗のメカニズム
サブタイトル(和)
タイトル(英) Mechanisms for Low Contact Resistance Behavior of Newly Developed Ag-Pd-Mg Contact
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) Ag-Pd-Mg / Ag-Pd-Mg
キーワード(2)(和/英) Ag-Pd / Ag-Pd
キーワード(3)(和/英) Ag-Pd-Cr / Ag-Pd-Cr
キーワード(4)(和/英) 接触抵抗 / contact resistance
キーワード(5)(和/英) 酸化物皮膜 / oxide film
キーワード(6)(和/英) STM像 / SEM image
キーワード(7)(和/英) 拡散 / diffusion
キーワード(8)(和/英) Ag / Ag
キーワード(9)(和/英) XPS分析 / XPS
第 1 著者 氏名(和/英) 玉井 輝雄 / Terutaka Tamai
第 1 著者 所属(和/英) 兵庫教育大学
Hyogo University of Teacher Education
発表年月日 2001/2/9
資料番号 R2000-42,EMD2000-95
巻番号(vol) vol.100
号番号(no) 623
ページ範囲 pp.-
ページ数 6
発行日