| 講演名 | 2001/2/9 高信頼性指紋センサLSI 町田 克之, 重松 智志, 森村 浩季, 田辺 泰之, 海野 秀之, 久良木 億, |
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| 抄録(和) | 近年、情報端末の不正使用を防止するためにバイオメトリクスを利用した認証システムが注目されている。我々は、LSI上でセンシングと認証が可能なワンチップ指紋認証センサLSIを開発した。本報告では、本LSIに導入した指紋センサのセンサ構造及びセンサプロセスについて説明し、信頼性評価結果について述べる。さらに、信頼性の課題と、その課題を克服した手法について述べる。半導体式容量型センサの信頼性課題は、大きく分けて三つある。一つは指からの静電気対策、次が、機械的強度の有無、最後に、長期信頼性(センサ表面からの不純物拡散による劣化対策)である。本指紋センサの評価結果により、高い静電気耐性、機械的強度及び長期信頼性があることを確認した。 |
| 抄録(英) | We describe a new semiconductor capacitive sensor structure and the fabrication process for a single-chip fingerprint sensor/identifier LSI in which the sensor is stacked on 0.5-μm CMOS LSI. To ascertain the influence of the fabrication process and usage on underlying LSI, sensor chips were subjected to reliability tests of electrostatic discharge(ECD), mechanical stress, and water penetration. The reliability tests confirm that the proposed sensor has sufficient reliability for conventional identification usage. |
| キーワード(和) | 指紋センサ / センサ構造 / LSI / センサプロセス / 信頼性 / ESD |
| キーワード(英) | fingerprint sensor / sensor structure / LSI / sensor process / reliability |
| 資料番号 | R2000-39,EMD2000-92 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | R |
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| 開催期間 | 2001/2/9(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Reliability(R) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 高信頼性指紋センサLSI |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | High Reliability Fingerprint Sensor LSI |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 指紋センサ / fingerprint sensor |
| キーワード(2)（和/英） | センサ構造 / sensor structure |
| キーワード(3)（和/英） | LSI / LSI |
| キーワード(4)（和/英） | センサプロセス / sensor process |
| キーワード(5)（和/英） | 信頼性 / reliability |
| キーワード(6)（和/英） | ESD |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 町田 克之 / K. Machida |
| 第 1 著者 所属（和/英） | NTT通信エネルギー研究所 NTT Telecommunications Energy Labs. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 重松 智志 / S. Shigematsu |
| 第 2 著者 所属（和/英） | NTT生活環境研究所 NTT Lifestyle and Environmental Technology Labs. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 森村 浩季 / H. Morimura |
| 第 3 著者 所属（和/英） | NTT生活環境研究所 NTT Lifestyle and Environmental Technology Labs. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 田辺 泰之 / Y. Tanabe |
| 第 4 著者 所属（和/英） | NTT通信エネルギー研究所 NTT Telecommunications Energy Labs. |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 海野 秀之 / H. Unno |
| 第 5 著者 所属（和/英） | NTT生活環境研究所 NTT Lifestyle and Environmental Technology Labs. |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 久良木 億 / H. Kyuragi |
| 第 6 著者 所属（和/英） | NTT通信エネルギー研究所 NTT Telecommunications Energy Labs. |
| 発表年月日 | 2001/2/9 |
| 資料番号 | R2000-39,EMD2000-92 |
| 巻番号（vol） | vol.100 |
| 号番号（no） | 623 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 7 |
| 発行日 | |