| 講演名 | 1994/10/14 アルミ積層配線のエレクトロマイグレーション : TiNを上層に有する積層配線の信頼性 影山 麻樹子, おの田 博, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ | PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | TiNを上層に有するアルミ系積層配線におけるエレクトロマイグレーション挙動はその構造や成膜プロセスに大きく左右される。上層のTiNは、従来から用いられている下層のTiNとは異なり、アルミ部分が断線したときに電流のバイパスとして働かない。それは、たとえ真空中で連続成膜をした場合でも、TiN, Al界面の電気抵抗が高くなってしまうためである。しかし、連続成膜したTiNには下地Alの結晶を引き継ぎ、これにより物質移動を抑制する働きがあり、TiN/Al/TiN構造で、上層TiNを連続成膜するの望ましい。また、下層のTiNがなくても、上層のTiNとAlの界面に薄いTi層を設けたTiN/Ti/Al構造の配線とすることで、TiNに電流バイパス効果をもたせることが可能になり、断線しにくい信頼性の高い配線を得ることが出来る。 |
| 抄録(英) | Electromigration performance of layered interconnects which has a TiN overlayer depsends on the structure and a formation process of the interconnects.Underlayer TiN plays an importnat role as a current bypass if aluminum part has open voids,but overlayered TiN does not work as current bypass,since a current flow at TiN, Al interface was restricted even if TiN was deposited successfuly. However,successive deposited TiN has epitaxial continuity to underlayer Al and it supresses interfacial migration.TiN/Al/TiN 3layered line with successive deposited overlayer TiN has high reliability.In addition,high reliable intrconnect without underlayer TiN was achieved by introducing thin Ti layer at TiN/Al interface. |
| キーワード(和) | 積層配線 / TiN / エレクトロマイグレーション / アルミ配線 |
| キーワード(英) | layered interconnect / TiN / electromigration / Al |
| 資料番号 | R94-30 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | R |
|---|---|
| 開催期間 | 1994/10/14(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Reliability(R) |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | アルミ積層配線のエレクトロマイグレーション : TiNを上層に有する積層配線の信頼性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Electromigration Performance of Layered Interconnects with TiN overlayer |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 積層配線 / layered interconnect |
| キーワード(2)（和/英） | TiN / TiN |
| キーワード(3)（和/英） | エレクトロマイグレーション / electromigration |
| キーワード(4)（和/英） | アルミ配線 / Al |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 影山 麻樹子 / Makiko Kageyama |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 沖電気工業 Oki Electric Industry |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | おの田 博 / Hiroshi Onoda |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 沖電気工業 Oki Electric Industry |
| 発表年月日 | 1994/10/14 |
| 資料番号 | R94-30 |
| 巻番号（vol） | vol.94 |
| 号番号（no） | 276 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |