| 講演名 | 1997/10/30 LSIアルミ配線評価手法の検討 菊井 茂樹, 杉本 憲治, 松崎 一浩, 松田 純夫, |
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| 抄録(和) | ハーフミクロンに達した民生LSIを宇宙に適用する場合に、信頼性上の課題の一つとしてアルミ配線のエレクトロマイグレーションがある。そのため、LSIアルミ配線のエレクトロマイグレション評価について、プロセス上の要因を評価するという手法の調査・検討を行ったので報告する。 |
| 抄録(英) | To apply commercial LSIs which are fabricated with half-micron design rule, one of the most serious problems on reliability is the evaluation method of its Electromigration in Aluminum interconnection. We researched and study on Electromigration evaluation methods of LSIs Aluminum interconnection. In this paper, we studied the evaluation factors on manufacturing process. |
| キーワード(和) | エレクトロマイグレーション |
| キーワード(英) | Electromigration |
| 資料番号 | R97-14 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | R |
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| 開催期間 | 1997/10/30(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Reliability(R) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | LSIアルミ配線評価手法の検討 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Study on LSIs Aluminum interconnection of evaluation methods |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | エレクトロマイグレーション / Electromigration |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 菊井 茂樹 / Shigeki Kikui |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 宇宙開発事業団 National Space Development Agency of Japan |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 杉本 憲治 / Kenji Sugimoto |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 宇宙開発事業団 National Space Development Agency of Japan |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 松崎 一浩 / Kazuhiro Matsuzaki |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 宇宙開発事業団 National Space Development Agency of Japan |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 松田 純夫 / Sumio Matsuda |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 宇宙開発事業団 National Space Development Agency of Japan |
| 発表年月日 | 1997/10/30 |
| 資料番号 | R97-14 |
| 巻番号（vol） | vol.97 |
| 号番号（no） | 351 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |