| 講演名 | 1997/6/20 宇宙用100KゲートCMOSゲートアレイのTDDB寿命評価 修行 新一, 松崎 一浩, 根本 規生, 松田 純夫, |
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| 抄録(和) | 宇宙用100KゲートCMOSゲートアレイのゲート酸化膜について、経時絶縁破壊 (TDDB : Time Dependent Dielectric Breakdown) の評価を行った。評価サンプルは、予備評価用TEG (Test Element Group) と100KゲートCMOSゲートアレイTEGを作成した。TDDB評価方法を検討してTDDB評価治工具の準備をした後、予備評価用TEGと100KゲートCMOSゲートアレイTEGの定電圧TDDB評価を実施し、得られたデータを基に、宇宙用100KゲートCMOSゲートアレイの実デバイス・実使用条件におけるTDDB寿命の推定を行った。その結果、宇宙用100KゲートCMOSゲートアレイで用いられている20nmのゲート酸化膜は、宇宙用機器として使用される年数に対して十分なTDDB寿命を有していることが確認できた。 |
| 抄録(英) | Time Dependent Dielectric Breakdown (TDDB) of the gate oxide in the 100k-gate CMOS gate-array has been evaluated. TEG (Test Element Group) for basic evolution and the 100k-gate CMOS gate array TEG including test structures for TDDB evaluation were fabricated. After Studying evaluation techniques and constructing test system, constant voltage TDDB life tests of the basic evaluation TEG and the 100k-gate CMOS gate array TEG were performed. TDDB life time in the condition of actual use was estimated using the data obtained in the life test. It has been confirmed that the 20-nm gate oxide in the 100k-gate CMOS gate-array has long TDDB lifetime enough to be used as a part of space equipment. |
| キーワード(和) | 宇宙用ゲートアレイ / 経時絶縁破壊 (TDDB) / ゲート酸化膜 |
| キーワード(英) | gate-array / TDDB (Time Dependent Dielectric Breakdown) / gate oxide |
| 資料番号 | R97-2 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | R |
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| 開催期間 | 1997/6/20(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Reliability(R) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 宇宙用100KゲートCMOSゲートアレイのTDDB寿命評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Evaluation of TDDB Lifetime of the gate oxide in the 100k-gate CMOS gate-array |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 宇宙用ゲートアレイ / gate-array |
| キーワード(2)（和/英） | 経時絶縁破壊 (TDDB) / TDDB (Time Dependent Dielectric Breakdown) |
| キーワード(3)（和/英） | ゲート酸化膜 / gate oxide |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 修行 新一 / Shinichi Shugyo |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 宇宙開発事業団 National Space Development Agency of Japan |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 松崎 一浩 / Kazuhiro Matsuzaki |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 宇宙開発事業団 National Space Development Agency of Japan |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 根本 規生 / Norio Nemoto |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 宇宙開発事業団 National Space Development Agency of Japan |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 松田 純夫 / Sumio Matsuda |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 宇宙開発事業団 National Space Development Agency of Japan |
| 発表年月日 | 1997/6/20 |
| 資料番号 | R97-2 |
| 巻番号（vol） | vol.97 |
| 号番号（no） | 118 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |