| 講演名 | 1997/3/14 故障解析用LSIテストシステム 丹野 雅明, 久慈 憲夫, 竹田 忠雄, 中村 信二, |
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| 抄録(和) | テストコストを上昇させることなく、LSIの故障解析環境を向上させるため、我々は故障解析に特化した低コストのLSIテストシステムを開発した。本システムには、Iddq測定機能とEBテスティング、発光・発熱解析のための支援機能が装備されている。更に、各種故障解析装置で共通に使用できる治具を開発した。本報告では、故障解析用LSIテストシステムの概要と故障解析事例について述べている。 |
| 抄録(英) | We have developed a low-cost LSI test system for failure analysis in order to improve the analysis environment. This system has mainly the functions of Iddq-measurement and supplying test patterns for e-beam testing, light-emission microscopy, and liquid-crystal method. In addition, we developed the interchangeable fixture among failure analysis tools. We report the outline of this system and show an example of failure analysis using it. |
| キーワード(和) | 故障解析 / スキャンパス / EBテスティング / 発光解析 / 発熱解析 / Iddq |
| キーワード(英) | failure analysis / scan-path / e-beam testing / light-emission microscopy / liquid-crystal method / Iddq |
| 資料番号 | R96-49,CPM96-158 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | R |
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| 開催期間 | 1997/3/14(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Reliability(R) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 故障解析用LSIテストシステム |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | LSI test system for failure analysis |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 故障解析 / failure analysis |
| キーワード(2)（和/英） | スキャンパス / scan-path |
| キーワード(3)（和/英） | EBテスティング / e-beam testing |
| キーワード(4)（和/英） | 発光解析 / light-emission microscopy |
| キーワード(5)（和/英） | 発熱解析 / liquid-crystal method |
| キーワード(6)（和/英） | Iddq / Iddq |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 丹野 雅明 / Masaaki TANNO |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社 システムエレクトロニクス研究所 NTT System Electronics Laboratories |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 久慈 憲夫 / Norio KUJI |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社 システムエレクトロニクス研究所 NTT System Electronics Laboratories |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 竹田 忠雄 / Tadao TAKEDA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社 システムエレクトロニクス研究所 NTT System Electronics Laboratories |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 中村 信二 / Shinji NAKAMURA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社 システムエレクトロニクス研究所 NTT System Electronics Laboratories |
| 発表年月日 | 1997/3/14 |
| 資料番号 | R96-49,CPM96-158 |
| 巻番号（vol） | vol.96 |
| 号番号（no） | 574 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |