| 講演名 | 2002/9/13 IC内RC素子の性能評価の一方法 佐藤 紀章, 川元 雅紀, 伊藤 文人, 井上 浩, |
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| 抄録(和) | アナログ形PLLを集積化して試作する場合に,受動素子が実際に設計値どおりに作製されているか,素子のバラツキはどの程度かにより,設計したICの動作に与える影響が懸念される.そこで,IC内の受動素子すなわちRおよびCを定量的に評価するため,最も簡単と考えられる特性測定用の回路(Test Element Group:TEG)を作製し,素子の簡単な評価測定を試みた.評価回路はレーザトリミングを利用して加工することで,TEG中の素子を分離して個々の素子の測定を行うことができるようにした.試作ICの特性測定から,IC内におけるR,C素子の基本的な特性を測定することができた. |
| 抄録(英) | When an analog PLL circuit is implemented in IC, it should be considered that how the passive elements are actually in specification and what the dispersion of the values and the influence to the performance to the designed IC are. So, the measurements of the performances on R and C elements in an IC, in which the simple test element groups (TEG) are made, are evaluated. The use of the laser trimming makes us simply the separation and the measurement for the individual elements in TEG. The fundamental characteristics of Rs and Cs in IC were evaluated by these measurements. |
| キーワード(和) | IC / RTEG / CTEG / レーザトリミング / 性能評価 |
| キーワード(英) | IC / R_TEG / C_TEG / Laser Trimming / Performance Evaluation |
| 資料番号 | EMD2002-47 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD |
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| 開催期間 | 2002/9/13(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electromechanical Devices (EMD) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | IC内RC素子の性能評価の一方法 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | A Method of Evaluation of the Performance of RC Element in IC |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | IC / IC |
| キーワード(2)（和/英） | RTEG / R_TEG |
| キーワード(3)（和/英） | CTEG / C_TEG |
| キーワード(4)（和/英） | レーザトリミング / Laser Trimming |
| キーワード(5)（和/英） | 性能評価 / Performance Evaluation |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 佐藤 紀章 / Noriaki SATO |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 秋田大学工学資源学部 Faculty of Engineering and Resource Science, AKITA University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 川元 雅紀 / Masanori KAWAMOTO |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 秋田大学工学資源学部 Faculty of Engineering and Resource Science, AKITA University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 伊藤 文人 / Fumihito ITO |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 株式会社アキタ電子システムズ Akita Electronics Systems CO.,LTD. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 井上 浩 / Hiroshi INOUE |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 秋田大学工学資源学部 Faculty of Engineering and Resource Science, AKITA University |
| 発表年月日 | 2002/9/13 |
| 資料番号 | EMD2002-47 |
| 巻番号（vol） | vol.102 |
| 号番号（no） | 325 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |