| 講演名 | 2001/9/20 A New Application of DMD to Photolithography and Rapid Prototyping System , |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | The digital micromirror device(DMD)is a new display device fabricated by the micro machining technique and used in projectors. In this paper, the DMD serves as an ultraviolet exposure system and is tested in applications for pojection exposure systems and rapid prototyping. In the system, the DMD and a mercury lamp are used as a pattern generator and an UV source, respectively. Since the developed exposure system doesn't need a mask or LASER, a simple and low cost system can be realized. |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | DMD / rapid prototyping / micro machining / photolithography / artificial heart / micro-electrophoretic chip |
| 資料番号 | EMD2001-53 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD |
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| 開催期間 | 2001/9/20(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electromechanical Devices (EMD) |
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| 本文の言語 | ENG |
| タイトル（和） | |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | A New Application of DMD to Photolithography and Rapid Prototyping System |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | / DMD |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | / K. Takahashi |
| 第 1 著者 所属（和/英） | Department of Electrical and Electronic Systems, Faculty of Engineering, Saitama University |
| 発表年月日 | 2001/9/20 |
| 資料番号 | EMD2001-53 |
| 巻番号（vol） | vol.101 |
| 号番号（no） | 326 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |