| 講演名 | 2000/6/30 US2000-32 / EMD2000-28 / CPM2000-43 / OME2000-38 超音波センサの光アクセス化に関する一検討 栗田 美絵, 野毛 悟, 宇野 武彦, |
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| 抄録(和) | 著者らは光アクセス超音波センサを提案し、シミュレーションによる感度の解析を行っている。今回、この方式に用いる弾性波励振用の光電変換素子として、ショットキバリアダイオード(SBD)を検討した。実験に際してSBDの電極寸法、基板の厚さ等を変更したサンプルを作製した。実験の結果、作製したSBDは20MHzの強度変調光に対して応答が得られ、MCFを用いた測定により、励振パワーは数μW程度と推定される。この結果、SBDの構造を最適化することにより、10μW以上の例振パワーが得られる可能性があることがわかった。 |
| 抄録(英) | The authors have previously proposed the piezoelectric sensor with optical-access method and reported the simulation of sensitivity. We examined a method to excite piezoelectric vibration by light using a Schottky barrier diode(SBD). The SBD was used as a photoelectric transducer in VHF region. We fabricated several SBD samples with different electrode size and substrate thickness. Piezoelectric vibration with 4μW(-26dBm) vibration power was obtained at 20MHz. High vibration power over 10μW will be easily obtained through optimizing the SDB construction. |
| キーワード(和) | 光アクセス / 超音波センサ / 弾性波 / ショットキバリア |
| キーワード(英) | optical-access method / piezoelectric sonsor / piezoelectric vibration / Schottky barrier diode |
| 資料番号 | US2000-32,EMD2000-28,CPM2000-43,OME2000-38 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD |
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| 開催期間 | 2000/6/30(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electromechanical Devices (EMD) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | US2000-32 / EMD2000-28 / CPM2000-43 / OME2000-38 超音波センサの光アクセス化に関する一検討 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | A Study on Optical Access Type Piezoelectric Sensor |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 光アクセス / optical-access method |
| キーワード(2)（和/英） | 超音波センサ / piezoelectric sonsor |
| キーワード(3)（和/英） | 弾性波 / piezoelectric vibration |
| キーワード(4)（和/英） | ショットキバリア / Schottky barrier diode |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 栗田 美絵 / Mie Kurita |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 神奈川工科大学工学部電気電子工学科 Kanagawa Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 野毛 悟 / Satoru Noge |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 神奈川工科大学工学部電気電子工学科 Kanagawa Institute of Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 宇野 武彦 / Takehiko Uno |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 神奈川工科大学工学部電気電子工学科 Kanagawa Institute of Technology |
| 発表年月日 | 2000/6/30 |
| 資料番号 | US2000-32,EMD2000-28,CPM2000-43,OME2000-38 |
| 巻番号（vol） | vol.100 |
| 号番号（no） | 165 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |