| 講演名 | 2000/6/30 US2000-30 / EMD2000-26 / CPM2000-41 / OME2000-36 端面反射SH-SAWを用いたセンサの特性 宮崎 徹, 斎藤 敦史, 野村 徹, |
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| 抄録(和) | SH-SAW(Shear horizontal type surface acoustic wave)は、表面に水平な粒子変位成分のみを有し、直角のコーナーに入射すると完全反射する。本報告では、直角エッジを有する36°YX LiTaO_3基板を使い、反射型のSH-SAWセンサを構成し、液体中で動作させ基本的な動作を明らかにした。次に、この特性にあったセンサプローブの構造について提案し、実験的にその特性を示した。最後に、実際のセンシングシステムの構成について提案した。 |
| 抄録(英) | SH-SAW(Shear horizontal type surface acoustic wave) have only shear horizontal displacement. The surface wave is complete reflected at the free edge. A new SH-SAW sensor has been designed for a probe of liquid sensing. The SH-SAW reflected at the free edge has been studied in order to use as a liquid phase sensor probe. The SH-SAW are excited on a 36° YX LiTaO_3 substrate and the right angle edge has been used to reflect the waves. Several experiments were performed to verify the edge reflection sensor by using some mixtures. The experimental results showed that the velocity and the amplitude of the reflected wave depend on the viscosity and the density of the loaded mixtures. |
| キーワード(和) | 弾性表面波 / SH-モード / 端面反射 / センサプローブ |
| キーワード(英) | SAW / SH-mode SAW / Edge reflection / Complete reflection / Sensor Probe |
| 資料番号 | US2000-30,EMD2000-26,CPM2000-41,OME2000-36 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD |
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| 開催期間 | 2000/6/30(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electromechanical Devices (EMD) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | US2000-30 / EMD2000-26 / CPM2000-41 / OME2000-36 端面反射SH-SAWを用いたセンサの特性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | SAW sensor using edge reflection of shear horizontal surface waves |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 弾性表面波 / SAW |
| キーワード(2)（和/英） | SH-モード / SH-mode SAW |
| キーワード(3)（和/英） | 端面反射 / Edge reflection |
| キーワード(4)（和/英） | センサプローブ / Complete reflection |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 宮崎 徹 / Tooru MIYAZAKI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 芝浦工業大学・工学部・通信工学科 Department of Communication Engineering, Faculty of Engineering |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 斎藤 敦史 / Atsushi SAITOH |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 芝浦工業大学・工学部・通信工学科 Department of Communication Engineering, Faculty of Engineering |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 野村 徹 / Tooru NOMURA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 芝浦工業大学・工学部・通信工学科 Department of Communication Engineering, Faculty of Engineering |
| 発表年月日 | 2000/6/30 |
| 資料番号 | US2000-30,EMD2000-26,CPM2000-41,OME2000-36 |
| 巻番号（vol） | vol.100 |
| 号番号（no） | 165 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |