| 講演名 | 2000/6/30 US2000-29 / EMD2000-25 / CPM2000-40 / OME2000-35 弾性表面波/半導体結合デバイスの基礎的検討 須田 隆也, 青木 裕介, 洪 哲雲, 兼城 千波, 黄 啓新, 宝川 幸司, |
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| 抄録(和) | 弾性表面波/半導体結合素子は、高機能あるいは新しい機能をもった素子を実現できる可能性がある。その中で、弾性表面波/半導体結合素子の非線形素子の一つであるSAWコンボルバについて、その高効率化と位相整合条件に因らないデバイスの基礎的検討を行った。その結果、タッピング電極、ショットキー接合を有するダイオードブリッジ構造のSAWコンボルバにおいて、効率がよく、位相整合条件に鈍感なデバイスを実現できた。 |
| 抄録(英) | Surface acoustic wave(SAW) -semiconductor coupled devices are attractive for realization of high performance and new functional devices. In this paper, we report the basic study of SAW convolver efficiency in the points of non-linear effect of the interactions. And also, we have fabricated SAW devices with a high convolver efficiency and non-phase matching by using epitaxial lift off(ELO) film bonding process. |
| キーワード(和) | SAWデバイス / ELO Film Bonding Process / コンボルバ |
| キーワード(英) | SAW device / ELO Film Bonding Process / Convolver |
| 資料番号 | US2000-29,EMD2000-25,CPM2000-40,OME2000-35 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD |
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| 開催期間 | 2000/6/30(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electromechanical Devices (EMD) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | US2000-29 / EMD2000-25 / CPM2000-40 / OME2000-35 弾性表面波/半導体結合デバイスの基礎的検討 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Basic study on SAW-semiconductor coupled device |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | SAWデバイス / SAW device |
| キーワード(2)（和/英） | ELO Film Bonding Process / ELO Film Bonding Process |
| キーワード(3)（和/英） | コンボルバ / Convolver |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 須田 隆也 / T. Suda |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 神奈川工科大学工学部 Dep.Electrical & Electronic Eng, Kanagawa Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 青木 裕介 / Y. Aoki |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 神奈川工科大学工学部 Dep.Electrical & Electronic Eng, Kanagawa Institute of Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 洪 哲雲 / C. Hong |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 神奈川工科大学工学部 Dep.Electrical & Electronic Eng, Kanagawa Institute of Technology |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 兼城 千波 / C. Kaneshiro |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 神奈川工科大学工学部 Dep.Electrical & Electronic Eng, Kanagawa Institute of Technology |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 黄 啓新 / K. Koh |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 神奈川工科大学工学部 Dep.Electrical & Electronic Eng, Kanagawa Institute of Technology |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 宝川 幸司 / K. Hohkawa |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 神奈川工科大学工学部 Dep.Electrical & Electronic Eng, Kanagawa Institute of Technology |
| 発表年月日 | 2000/6/30 |
| 資料番号 | US2000-29,EMD2000-25,CPM2000-40,OME2000-35 |
| 巻番号（vol） | vol.100 |
| 号番号（no） | 165 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |