| 講演名 | 2000/6/30 US2000-27 / EMD2000-23 / CPM2000-38 / OME2000-33 ダイヤモンド薄膜の熱特性画像 高畠 信也, 小林 武, 和泉 富雄, |
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| 抄録(和) | 光音響法は局所的な熱特性の測定が可能である。筆者らは試料に光が浸入して熱源が分布するときの試料表面温度の解析を行い, シリコン基板上にCVD法を用いて堆積させたダイヤモンド膜の熱特性画像を測定した。ダイヤモンド膜の均質性の評価に熱特性画像を用いて光音響法の有効性について検討した。 |
| 抄録(英) | Photoacoustic method gives microscopic scale-information on local thermal properties of diamond film. We analyzed the photoacoustic signal which was produced by light beam absorbed in diamond film. The thermal characterization of diamond film deposited by chemical vapor deposition(CVD) method was performed by using this method. We obtained the thermal image of the diamond film. |
| キーワード(和) | ダイヤモンド / 薄膜 / 光音響法 / PAS |
| キーワード(英) | Diamond / Thin film / Photoacoustic technique / PAS |
| 資料番号 | US2000-27,EMD2000-23,CPM2000-38,OME2000-33 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD |
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| 開催期間 | 2000/6/30(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electromechanical Devices (EMD) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | US2000-27 / EMD2000-23 / CPM2000-38 / OME2000-33 ダイヤモンド薄膜の熱特性画像 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Mapping the distribution chart of the thermal characteristics for Diamond film |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ダイヤモンド / Diamond |
| キーワード(2)（和/英） | 薄膜 / Thin film |
| キーワード(3)（和/英） | 光音響法 / Photoacoustic technique |
| キーワード(4)（和/英） | PAS / PAS |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 高畠 信也 / Nobuya TAKABATAKE |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 神奈川工科大学 Dept.Electrical and Electronic Engineering, KANAGAWA Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 小林 武 / Takeshi KOBAYASHI |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 神奈川工科大学 Dept.Electrical and Electronic Engineering, KANAGAWA Institute of Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 和泉 富雄 / Tomio IZUMI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東海大学工学部 Dept.Electronics, TOKAI University |
| 発表年月日 | 2000/6/30 |
| 資料番号 | US2000-27,EMD2000-23,CPM2000-38,OME2000-33 |
| 巻番号（vol） | vol.100 |
| 号番号（no） | 165 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |