| 講演名 | 2000/6/30 US2000-25 / EMD2000-21 / CPM2000-36 / OME2000-31 走査型変位電流顕微鏡の開発 奥田 敦, 上原 摂理, 増田 朋彦, 真島 豊, 岩本 光正, |
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| 抄録(和) | 我々は新しい走査型プローブ顕微鏡(SPM:Scanning Probe Microscopy)として、走査型変位電流顕微鏡(SDM:Scanning Displacement Current Microscopy)を開発した。SDMは、試料に垂直にプローブを振動させることにより流れる変位電流を測定し、これを画像化する顕微鏡である。この新しい走査型プローブ顕微鏡は、針-試料間の静電容量の変化に起因した変位電流の絶対値を測定すること、トンネル電流を同時に測定すること等の特徴を持ち、例えば半導体の動作状態における、キャリア濃度分布の絶対測定が可能であると考えられる。本報告では、このSDMのグレーティングをサンプルとした測定結果例を示し、その解像度について理論的な検討を行う。 |
| 抄録(英) | We have developed a scanning displacement current microscopy(SDM) which measures the displacement current image induced by changes in capacitance between a probe and sample. In the developed SDM, displacement current image and tunneling current image can be measured simultaneously. It is possible to characterize semiconductor impurity dopant profile absolutely. In this report, we show a successful SDM image of a grating sample, and analyze the resolution of the displacement current image. |
| キーワード(和) | 走査型プローブ顕微鏡 / 変位電流 / トンネル電流 / キャリア濃度 |
| キーワード(英) | Scanning Probe Microscopy / displacement current / tunneling current / dopant profile |
| 資料番号 | US2000-25,EMD2000-21,CPM2000-36,OME2000-31 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD |
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| 開催期間 | 2000/6/30(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electromechanical Devices (EMD) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | US2000-25 / EMD2000-21 / CPM2000-36 / OME2000-31 走査型変位電流顕微鏡の開発 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Development of Scanning Displacement Current Microscopy |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 走査型プローブ顕微鏡 / Scanning Probe Microscopy |
| キーワード(2)（和/英） | 変位電流 / displacement current |
| キーワード(3)（和/英） | トンネル電流 / tunneling current |
| キーワード(4)（和/英） | キャリア濃度 / dopant profile |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 奥田 敦 / Atsushi Okuda |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻 Department of Physical Electronics, Tokyo Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 上原 摂理 / Setsuri Uehara |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻 Department of Physical Electronics, Tokyo Institute of Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 増田 朋彦 / Tomohiko Masuda |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻 Department of Physical Electronics, Tokyo Institute of Technology |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 真島 豊 / Yutaka Majima |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻 Department of Physical Electronics, Tokyo Institute of Technology |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 岩本 光正 / Mitsumasa Iwamoto |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻 Department of Physical Electronics, Tokyo Institute of Technology |
| 発表年月日 | 2000/6/30 |
| 資料番号 | US2000-25,EMD2000-21,CPM2000-36,OME2000-31 |
| 巻番号（vol） | vol.100 |
| 号番号（no） | 165 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |