講演名 1999/8/26
ポリマ光導波路を用いた光送受信モジュール
井戸 立身, 桑原 明, 長良 高光, 市川 博一, 徳田 正秀, 木下 平, 辻 伸二, 佐野 博久,
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抄録(和) ポリマ光導波路を用いたアクセス系向け低コスト光送受信モジュールを開発した。酸化膜付シリコン基板上に設けたフッ素化ポリイミド導波路は、酸化膜とポリイミドの大きな屈折率差のために下部クラッド層を薄くしても損失が増加しない。従って、特別な高さ調整構造を設けなくても導波路と半導体光素子のコア高さを一致することができる。また、MMI(multi-mode interference)型非対称Y分岐を検討し、同Y分岐が低損失で十分な動作波長範囲を持つことを示した。試作したモジュールの光出力は>2mW(@60mA)、受光感度は>0.39A/Wであり、良好な基本特性を確認した。
抄録(英) A low-cost polymer PLC (planar lightwave circuit) transceiver module for optical access network is demonstrated. In this polymer PLC platform, the waveguide properties are not deteriorated even with a thin underclad due to large refractive index difference between Si02 and fluorinated polymide. Thus, height matching between the polymer waveguide and the LD/PD is achieved without any special height adjustment structure. A new MMI (multi-mode interference) asymmetric Y branch has low radiation loss as well as enough wide operation wavelength range. A fabricated transceiver module has shown high optical output power (>2mW@60mA) and high responsivity (>0.39 A/W).
キーワード(和) ポリマ / 導波路 / モジュール / フッ素化ポリイミド / Y分岐 / MMI
キーワード(英) polymer / waveguide / module / fluorinated / polyimide / Y branch / MMI
資料番号 EMD99-24
発行日

研究会情報
研究会 EMD
開催期間 1999/8/26(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Electromechanical Devices (EMD)
本文の言語 JPN
タイトル(和) ポリマ光導波路を用いた光送受信モジュール
サブタイトル(和)
タイトル(英) Polymer PLC transceiver module
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) ポリマ / polymer
キーワード(2)(和/英) 導波路 / waveguide
キーワード(3)(和/英) モジュール / module
キーワード(4)(和/英) フッ素化ポリイミド / fluorinated
キーワード(5)(和/英) Y分岐 / polyimide
キーワード(6)(和/英) MMI / Y branch
第 1 著者 氏名(和/英) 井戸 立身 / T. Ido
第 1 著者 所属(和/英) 日立製作所中央研究所
Central Reserch Laboratory,Hitachi,Ltd.
第 2 著者 氏名(和/英) 桑原 明 / A. Kawahara
第 2 著者 所属(和/英) 日立製作所通信システム事業本部
Telecommunications System Group,Hitachi,Ltd.
第 3 著者 氏名(和/英) 長良 高光 / T. Nagara
第 3 著者 所属(和/英) 日立超LSIシステムズ
Hitachi ULSI Systems Co.,Ltd.
第 4 著者 氏名(和/英) 市川 博一 / H. Ichikawa
第 4 著者 所属(和/英) 日立製作所中央研究所
Central Reserch Laboratory,Hitachi,Ltd.
第 5 著者 氏名(和/英) 徳田 正秀 / T. Kinoshita
第 5 著者 所属(和/英) 日立製作所中央研究所
Central Reserch Laboratory,Hitachi,Ltd.
第 6 著者 氏名(和/英) 木下 平 / M. Tokuda
第 6 著者 所属(和/英) 日立製作所中央研究所
Central Reserch Laboratory,Hitachi,Ltd.
第 7 著者 氏名(和/英) 辻 伸二 / S. Tsuji
第 7 著者 所属(和/英) 日立製作所中央研究所
Central Reserch Laboratory,Hitachi,Ltd.
第 8 著者 氏名(和/英) 佐野 博久 / H. Sano
第 8 著者 所属(和/英) 日立製作所中央研究所
Central Reserch Laboratory,Hitachi,Ltd.
発表年月日 1999/8/26
資料番号 EMD99-24
巻番号(vol) vol.99
号番号(no) 273
ページ範囲 pp.-
ページ数 6
発行日