講演名 1999/1/22
圧電単結晶チップ形すべり波振動子の破壊限界の実験的検討
春日 敬治, 若月 昇,
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抄録(和) 圧電単結晶チップ形すべり波振動子(LiTaO_3、LiNbO_3)の電力限界に関する基礎的な調査を行った。大電圧を周波数スイープして印加し、共振周波数付近で多数個のサンプルを破壊した。その時の破壊限界を測定し、破壊原因の推定を実験的に確認した。大電流による破壊時に起こる発光現象を確認し、初期の破壊限界は応力による歪み破壊ではなく、発熱による焦電現象などに関係した破壊であることを確認した。また、焦電による電荷の蓄積を打ち消すため、サンプル表面に静電気防止剤を塗布し、塗布する前後で、破壊モードにどのような違いがでるのか実験した。その結果、静電気防止剤を塗布する前に比べ、塗布した後では破壊電圧及び電流が上昇し、サンプルが破壊されにくくなったことを確認した。
抄録(英) The maximum available electric input power for LiTaO_3 and LiNbO_3 strip-type shear mode resonator is studied.Frequency swept power signal is applied to the resonator around its resonant frequency.The input high voltage is increased, step by step and the break down of the sample is observed by current measurement.It become clear that high power input rises the temperature at the center part of the strip, causes the electric discharge due to pyroelectricity and breaks down the sample.The application of conventional anti-static spray to the surface of the chip increases drastically the available power.
キーワード(和) 圧電単結晶すべり波振動子 / LiTaO_3 / LiNbO_3 / 焦電現象 / 破壊限界
キーワード(英) Strip-type shear mode resonator / LiTaO_3 / LiNbO_3 / Pyroelectricity / Mechanical destruction
資料番号 EMD98-84
発行日

研究会情報
研究会 EMD
開催期間 1999/1/22(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Electromechanical Devices (EMD)
本文の言語 JPN
タイトル(和) 圧電単結晶チップ形すべり波振動子の破壊限界の実験的検討
サブタイトル(和)
タイトル(英) Mechanical Destruction of Piezoelectric Single Crystal Chip Resonator Due to High Input Power
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) 圧電単結晶すべり波振動子 / Strip-type shear mode resonator
キーワード(2)(和/英) LiTaO_3 / LiTaO_3
キーワード(3)(和/英) LiNbO_3 / LiNbO_3
キーワード(4)(和/英) 焦電現象 / Pyroelectricity
キーワード(5)(和/英) 破壊限界 / Mechanical destruction
第 1 著者 氏名(和/英) 春日 敬治 / Keiji Kasuga
第 1 著者 所属(和/英) 石巻専修大学・理工
Department of Electronics and materials, Faculty of Science and Engineering, Ishinomaki-Senshu University
第 2 著者 氏名(和/英) 若月 昇 / Noboru Wakatsuki
第 2 著者 所属(和/英) 石巻専修大学・理工
Department of Electronics and materials, Faculty of Science and Engineering, Ishinomaki-Senshu University
発表年月日 1999/1/22
資料番号 EMD98-84
巻番号(vol) vol.98
号番号(no) 554
ページ範囲 pp.-
ページ数 6
発行日