講演名 1994/6/17
カーボン系薄膜のマイクロトライボロジーとその情報機器への応用の可能性
三宅 正二郎,
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抄録(和) マイクロトライボロジーは情報機器にとってキーテクノロジーとなっている。この分野では原子オーダの摩耗と微小な摩擦力変動が装置の特性を劣化される。この問題の対策として新しい、耐摩耗性と潤滑性を備えたカーボン系薄膜の適用が期待される。カーボンは最も硬度の高いダイヤモンドと固体潤滑性のあるグラファイトの構造をとることができ、これらの性質を組み合わせれば硬質で潤滑性に優れた薄膜を形成することができる。ここではカーボン系薄膜のマイクロトライボロジー特性とその情報機器への応用の可能性について述べる。
抄録(英) Microtribology is a key technology in the information equipment. In this field,atomic-scale wear and minute friction fluctuations degrade equipment performance.New hard,lubricating carbonaceous films seem to be a useful way to reduce these problems.Carbon has both a super hard diamond crystal structure and a solid lubricating graphite structure.The proper combination of these crystal structures can produce hard,lubricating films.This paper discussed micro-tribological properties and possible applications for information equipment of carbonaceous films.
キーワード(和) マイクロトライボロジー / 情報機器 / カーボン系薄膜 / ダイヤモンドライクカーボン膜 / ダイヤモンド膜
キーワード(英) Microtribology / Information equipment / Carbonaceous films / Diamond-like-carbon film / Diamond film
資料番号 EMD94-20
発行日

研究会情報
研究会 EMD
開催期間 1994/6/17(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Electromechanical Devices (EMD)
本文の言語 JPN
タイトル(和) カーボン系薄膜のマイクロトライボロジーとその情報機器への応用の可能性
サブタイトル(和)
タイトル(英) Microtribology properties and potentional applications of carbonaceous films
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) マイクロトライボロジー / Microtribology
キーワード(2)(和/英) 情報機器 / Information equipment
キーワード(3)(和/英) カーボン系薄膜 / Carbonaceous films
キーワード(4)(和/英) ダイヤモンドライクカーボン膜 / Diamond-like-carbon film
キーワード(5)(和/英) ダイヤモンド膜 / Diamond film
第 1 著者 氏名(和/英) 三宅 正二郎 / Shojiro Miyake
第 1 著者 所属(和/英) 日本工業大学工学部システム工学科
Department of System Engineering,Faculty of Technology,Nippon Institute of Technology
発表年月日 1994/6/17
資料番号 EMD94-20
巻番号(vol) vol.94
号番号(no) 99
ページ範囲 pp.-
ページ数 8
発行日