| 講演名 | 1993/7/16 電磁マイクロリレーの試作とその性能 保坂 寛, 桑野 博喜, 柳沢 佳一, 飯橋 真輔, |
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| 抄録(和) | マイクロマシンの機械式リレーへの応用を検討した.周辺回路のコスト,粉塵に対する信頼性,自己保持の容易性から電磁駆動方式を採用した.まず接点と接点ばねの電気・機械的特性を測定し,基本的な設計指針を示した.接点については,押し付け力0.1mNオーダーで抵抗は0.1Ωオーダに安定することを示した.ばねついては,点対称な屈曲形状とすれば,そりや剛性変動がなくなることを示した.次いで一部にマイクロマシニングを適用して,マイクロスプリング型および多接点自己保持型リレーを試作した.動作特性を測定し,前者では1ms以下の高速スイッチングが,後者では自己保持とパルスによる開閉制御が可能なことを示した. |
| 抄録(英) | An electromagnetic microrelay is proposed as a practical application of micro electrome chanical systems technology.First the basic performance of key components are evaluated.Resistances of contact electrodes and rigidities of flat springs under micronewton contact forces are measured and their design guidelines are proposed.Next,two prototypes are produced according to the guidelines.One is a microspring type having a spiral contact spring with a side length of 0.3 mm and a switching speed faster than I ms.The other is a 2x2 matrix type,having 4 self- latching switches. |
| キーワード(和) | マイクロマシン / 電磁リレー / 接触抵抗 / 自己保持リレー |
| キーワード(英) | microelectromechanical system / electromagnetic relay / contact resistance / latching relay |
| 資料番号 | EMD93-19 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD |
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| 開催期間 | 1993/7/16(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electromechanical Devices (EMD) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 電磁マイクロリレーの試作とその性能 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Development of electromagnetic microrelays and their basic performance |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | マイクロマシン / microelectromechanical system |
| キーワード(2)（和/英） | 電磁リレー / electromagnetic relay |
| キーワード(3)（和/英） | 接触抵抗 / contact resistance |
| キーワード(4)（和/英） | 自己保持リレー / latching relay |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 保坂 寛 / Hiroshi Hosaka |
| 第 1 著者 所属（和/英） | NTT境界領域研究所 NTT Interdisciplinary Research Laboratories |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 桑野 博喜 / Hiroki Kuwano |
| 第 2 著者 所属（和/英） | NTT境界領域研究所 NTT Interdisciplinary Research Laboratories |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 柳沢 佳一 / Keiichi Yanagisawa |
| 第 3 著者 所属（和/英） | NTT境界領域研究所 NTT Interdisciplinary Research Laboratories |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 飯橋 真輔 / Shinsuke Hannoe |
| 第 4 著者 所属（和/英） | NTT境界領域研究所 NTT Interdisciplinary Research Laboratories |
| 発表年月日 | 1993/7/16 |
| 資料番号 | EMD93-19 |
| 巻番号（vol） | vol.93 |
| 号番号（no） | 143 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |