| 講演名 | 1993/8/27 シリコンマイクロミラーを用いた超小型2次元光センサ 後藤 博史, 池田 正哲, 米田 匡宏, 今仲 行一, |
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| 抄録(和) | シリコンマイクロマシニング技術を応用した圧電素子で駆動するマイクロミラー(光スキャナ)を開発した。この光スキャナは15mmx5mmx3mm小型で、2次元の光スキャニングが可能である。しかも40度以上の大きなスキャン角が10V程度の低駆動電圧で得られた。この光スキャナを光センサへ応用することによって、超小型の2次元光センサが実現でき、2次元の物体検知が可能となった。 |
| 抄録(英) | We have developed a miniature two-dimensional optical scanner, fabricated by silicon micromachining technology,driven by a piezoelectric micro actuator.The scanner has the capability of two- dimensional and wide range optical scanning.With,this scanner, actualizing the two-dimensional optical sensor and the object recognition at twodimensional area is capable. |
| キーワード(和) | 光スキャナ / 圧電素子 / マイクロマシニング / 2次元 / シリコン |
| キーワード(英) | Optical Scanner / Piezoelectric Actuator / Micro-Machining / Two-dimensional / Silicon |
| 資料番号 | EMD93-47,CPM93-60,OQE93-81 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD |
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| 開催期間 | 1993/8/27(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electromechanical Devices (EMD) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | シリコンマイクロミラーを用いた超小型2次元光センサ |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Miniature Two-dimensional Optical Sensor Using Silicon Micromachined Optical Scanner |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 光スキャナ / Optical Scanner |
| キーワード(2)（和/英） | 圧電素子 / Piezoelectric Actuator |
| キーワード(3)（和/英） | マイクロマシニング / Micro-Machining |
| キーワード(4)（和/英） | 2次元 / Two-dimensional |
| キーワード(5)（和/英） | シリコン / Silicon |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 後藤 博史 / Hiroshi Goto |
| 第 1 著者 所属（和/英） | オムロン中央研究所 Central R&D Laboratry,OMRON Corporation |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 池田 正哲 / Masaaki Ikeda |
| 第 2 著者 所属（和/英） | オムロン中央研究所 Central R&D Laboratry,OMRON Corporation |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 米田 匡宏 / Masahiro Yoneda |
| 第 3 著者 所属（和/英） | オムロン中央研究所 Central R&D Laboratry,OMRON Corporation |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 今仲 行一 / Koichi Imanaka |
| 第 4 著者 所属（和/英） | オムロン中央研究所 Central R&D Laboratry,OMRON Corporation |
| 発表年月日 | 1993/8/27 |
| 資料番号 | EMD93-47,CPM93-60,OQE93-81 |
| 巻番号（vol） | vol.93 |
| 号番号（no） | 200 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 7 |
| 発行日 | |