| 講演名 | 1993/8/26 MOVPE選択成長による偏光無依存型1.3μm帯LDアンプアレイ 北村 昌太郎, 小松 啓郎, 北村 光弘, |
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| 抄録(和) | 光導体光増幅器(LDアンプ)をアレイ状に配したLDアンプアレイは、光交換システムにおいて、多チャンネル並列伝送系の光損失補償用に強く望まれている。このような用途においては、LDアンプの利得が偏光無依存であることが要望される。利得を偏光無依存化する1つの構造として、断面の幅、厚さともに5000Å程度以下のバルク活性層を用いた構造が有力である。しかしながら、半導体のエッチングを用いる従来の製作方法により、活性層を5000Åと狭くかつ均一に形成するのは困難である。今回、半導体のエッチングを用いないMOVPEの選択成長法により、幅の狭い活性層を均一に形成し、1.3μm帯LDアンプアレイを実現した。4chのアレイにおいて、各LDアンプとも内部利得20dB以上、偏光依存性1dB以下の良好な特性を得た。 |
| 抄録(英) | Semiconductor optical amplifiers(SOAs)in array configuration are attractive for applications to optical parallel interconnection systems as optical loss compensators.For those applications,SOAs have no gain sensitivity to input signal polarization.In order to exclude the sensitivity,one should form a bulk active layer which width and thickness are both less than about 5000Å.However it is d ifficult to form such a narrow width of active layer uniformly and reproducibly by conventional methods with semiconductor etching.In this report,autors realized to form such narrow width of active layers uniformly by employing newly developed selective MOVPE technique which does not need semiconductor etching.And the quthors realized 1.3μm wavelength SOA arrays.In a 4-channel array, each SOA has more than 20dB of signal gain and less than 1dB of polarization sensitivity. |
| キーワード(和) | 半導体光増幅器 / LDアンプ / アンプアレイ / MOVPE / 選択成長 |
| キーワード(英) | Semiconductor Optical Amplifier / SOA / Amplifier Array / MOVPE / Selective Epitaxy |
| 資料番号 | CPM93-45,OQE93-66 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD |
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| 開催期間 | 1993/8/26(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electromechanical Devices (EMD) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | MOVPE選択成長による偏光無依存型1.3μm帯LDアンプアレイ |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | 1.3μm Wavelength Polarization-Insensitive Semiconductor Optical Am plitier Array Grown by Selective MOVPE. |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 半導体光増幅器 / Semiconductor Optical Amplifier |
| キーワード(2)（和/英） | LDアンプ / SOA |
| キーワード(3)（和/英） | アンプアレイ / Amplifier Array |
| キーワード(4)（和/英） | MOVPE / MOVPE |
| キーワード(5)（和/英） | 選択成長 / Selective Epitaxy |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 北村 昌太郎 / Shotaro Kitamura |
| 第 1 著者 所属（和/英） | NEC光エレクトロニクス研究所 Opto-Electronics Research Labs.,NEC Corporation |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 小松 啓郎 / Keiro Komatsu |
| 第 2 著者 所属（和/英） | NEC光エレクトロニクス研究所 Opto-Electronics Research Labs.,NEC Corporation |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 北村 光弘 / Mitsuhiro Kitamura |
| 第 3 著者 所属（和/英） | NEC光エレクトロニクス研究所 Opto-Electronics Research Labs.,NEC Corporation |
| 発表年月日 | 1993/8/26 |
| 資料番号 | CPM93-45,OQE93-66 |
| 巻番号（vol） | vol.93 |
| 号番号（no） | 199 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |