| 講演名 | 1996/10/18 ECRスパッタ法で作製した無添加および水素添加非晶質力ーボン膜のトライボロジー特性 梅村 茂, 廣野 滋, 安藤 康子, 金子 礼三, |
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| 抄録(和) | ECRスパッタ法で成膜した無添加および水素添加非晶質カーボン膜について, ラマン分光, 電気抵抗測定, 原子間力顕微鏡によって膜の構造解析, 耐摩耗性評価などを行い, 以下の結果を得た. (1)無添加非晶質カーボン膜はダイヤモンドに匹敵する耐摩耗性を示す. (2)水素添加した非晶質カーボン膜は無添加膜に比べて, 耐摩耗性は低下し, これは膜のポリマー化に起因する. (3)無添加非晶質カーボン膜の耐摩耗性の起源は非晶質グラファイト構造にあると推定される. |
| 抄録(英) | To clarify the tribological characteristics of unhydrogenated and hydrogenated amorphous carbon films, Raman spectroscopic analysis, resistivity measurements, and scanning-scratched wear tests were conducted for amorphous carbon films deposited by ECR sputtering by using an AFM/FFM. The results are as follows: (1) The unhydrogenated carbon films showed high wear-resistance characteristics comparable to diamond. (2) Hydrogenation of amorphous carbon films resulted in wear resistance degradation and it was caused by the polymerization of amorphous carbon films. (3) The wear-resistance characteristics of unhydrogenated carbon films is attributed to randomly assembled graphite. |
| キーワード(和) | カーボン / 薄膜 / 摩耗 / トライボロジー / ECR / AFM |
| キーワード(英) | carbon / film / wear / tribology / ECR / AFM |
| 資料番号 | EMD96-64 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD |
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| 開催期間 | 1996/10/18(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electromechanical Devices (EMD) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ECRスパッタ法で作製した無添加および水素添加非晶質力ーボン膜のトライボロジー特性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Tribological Characteristics of Unhydrogenated and Hydrogenated Amorphous Carbon Films Prepared by ECR Sputtering |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | カーボン / carbon |
| キーワード(2)（和/英） | 薄膜 / film |
| キーワード(3)（和/英） | 摩耗 / wear |
| キーワード(4)（和/英） | トライボロジー / tribology |
| キーワード(5)（和/英） | ECR / ECR |
| キーワード(6)（和/英） | AFM / AFM |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 梅村 茂 / S. Umemura |
| 第 1 著者 所属（和/英） | NTT入出力システム研究所 NTT Integrated Information and Energy System Laboratories |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 廣野 滋 / S. Hirono |
| 第 2 著者 所属（和/英） | NTT入出力システム研究所 NTT Integrated Information and Energy System Laboratories |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 安藤 康子 / Y. Andoh |
| 第 3 著者 所属（和/英） | NTT入出力システム研究所 NTT Integrated Information and Energy System Laboratories |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 金子 礼三 / R. Kaneko |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 和歌山大学システム工学部 Faculty of System Engineering, Wakayama University |
| 発表年月日 | 1996/10/18 |
| 資料番号 | EMD96-64 |
| 巻番号（vol） | vol.96 |
| 号番号（no） | 318 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |