| 講演名 | 1998/1/16 電気機械結合係数による新H形LiTaO_3圧電ジャイロの感度と漏れ出力の解析 田中 浩, 若月 昇, |
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| 抄録(和) | 本研究は、圧電ジャイロの駆動及び検出電極と直交する2つの振動モードとの間の電気機械結合係数 (k^2) に対して、有限要素法による数値解析結果とインピーダンス特性の実験データとの比較を行ったものである。従来の音さ形LiTaO_3圧電ジャイロは、左右アームの電極が非対称なので、駆動電極とf_x mode、検出電極とf_z modeとの不要なk^2が存在することを確認した。それ故、筆者らは、駆動は音さ形振動子構成、検出はH形振動子構成とから成る新H形ジャイロを提案した。新H形試作素子の駆動と検出電極の入力インピーダンスの実験結果は有限要素法によるk^2の解析データと一致した。 |
| 抄録(英) | In this paper, the electromechanical coupling coefficients (k^2) for the piezoelectric gyroscope are simulated by the Finite Element Method and compared with experimental data. The conventional fork type LiTaO_3 piezoelectric gyroscope has the unnecessary k^2 of driving electrode to f_z mode and detecting electrode to f_x mode due to asymmetrical electrodes on right and left arms. Therefore, we propose the new H-type gyroscope which consists of a driving fork type resonator and a detecting H-type resonator. The experimental data of input impedance of driving and detecting electrodes for the new H-type sample agreed with the EEM analysis. |
| キーワード(和) | 圧電振動子 / 圧電ジャイロ / 角速度センサ / 電気機械結合係数 / LiTaO_3 |
| キーワード(英) | piezoelectric resonator / piezoelectric gyroscope / angular rate sensor / electromechanical coupling coefficients / LiTaO_3 |
| 資料番号 | EMD97-85 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD |
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| 開催期間 | 1998/1/16(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electromechanical Devices (EMD) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 電気機械結合係数による新H形LiTaO_3圧電ジャイロの感度と漏れ出力の解析 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Analysis of Sensitivity and Leakage Suppression for the New H-type LiTaO_3 Piezoelectric Gyroscope by Electromechanical Coupling Coefficients |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 圧電振動子 / piezoelectric resonator |
| キーワード(2)（和/英） | 圧電ジャイロ / piezoelectric gyroscope |
| キーワード(3)（和/英） | 角速度センサ / angular rate sensor |
| キーワード(4)（和/英） | 電気機械結合係数 / electromechanical coupling coefficients |
| キーワード(5)（和/英） | LiTaO_3 / LiTaO_3 |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 田中 浩 / Hiroshi TANAKA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 石巻専修大学・理工 Department of Electronics and Materials, Faculty of Science and Engineering, Ishinomaki Senshu University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 若月 昇 / Noboru WAKATSUKI |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 石巻専修大学・理工 Department of Electronics and Materials, Faculty of Science and Engineering, Ishinomaki Senshu University |
| 発表年月日 | 1998/1/16 |
| 資料番号 | EMD97-85 |
| 巻番号（vol） | vol.97 |
| 号番号（no） | 469 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |