| 講演名 | 1997/7/4 水熱合成法によるPZT薄膜の応用 森田 剛, 神田 岳文, 黒澤 実, 樋口 俊郎, |
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| 抄録(和) | 水熱合成法によるPZT成膜は, 立体形状基板に成膜が可能であるという大きな利点を持つ. 従来の水熱合成法を改良し, 薄膜の圧電定数を大幅に向上させることができた. この手法を単一プロセス水熱合成法と呼ぶ. この薄膜を用いてマイクロ超音波モータと加振型接触センサを製作した. モータは直径2.4[mm], 長さ10[mm]のステータ振動子を持ち, 発生トルクは7[μNm], 最高回転数は880[rpm]であった. 接触センサは, 共振周波数115kHz, 先端での振動振幅は7.9[nm_ |
| 抄録(英) | This paper proposes the applications using PZT thin film deposited by hydrothermal method. Hydrothermal method utilizes the chemical reaction between titanium base metal and the ions melted in the solution at high temperature. So curved shaped base metals are available. We have succeeded in fabricating micro ultrasonic motor and tactile sensors by hydrothermal method. The motor dimension is 2.4mm in diameter and 10mm long. The output torque was 7μNm and the maximum revolution speed was 880 rpm at 15Vp-p driving voltage. The sensor is 27.8mm long. Its resonance frequency is 115kHz. We have succeeded in sensing contact and the resolution is 1μm. |
| キーワード(和) | 水熱合成法 / PZT薄膜 / マイクロ超音波モータ / 加振型接触センサ |
| キーワード(英) | Hydrothermal method / PZT thin film / micro ultrasonic motor / tactile sensor |
| 資料番号 | EMD97-23 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD |
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| 開催期間 | 1997/7/4(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electromechanical Devices (EMD) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 水熱合成法によるPZT薄膜の応用 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | The applications of PZT thin film deposited by hydrothermal methods |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 水熱合成法 / Hydrothermal method |
| キーワード(2)（和/英） | PZT薄膜 / PZT thin film |
| キーワード(3)（和/英） | マイクロ超音波モータ / micro ultrasonic motor |
| キーワード(4)（和/英） | 加振型接触センサ / tactile sensor |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 森田 剛 / Takeshi MORITA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京大学工学系研究科精密機械工学 The Univ. of Tokyo, Fact. of Engineering, Dep. of Precision Machinery Eng. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 神田 岳文 / Takefumi KANDA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京大学工学系研究科精密機械工学 The Univ. of Tokyo, Fact. of Engineering, Dep. of Precision Machinery Eng. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 黒澤 実 / Minoru KUROSAWA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東京大学工学系研究科精密機械工学 The Univ. of Tokyo, Fact. of Engineering, Dep. of Precision Machinery Eng. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 樋口 俊郎 / Toshiro HIGUCHI |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東京大学工学系研究科精密機械工学 The Univ. of Tokyo, Fact. of Engineering, Dep. of Precision Machinery Eng. |
| 発表年月日 | 1997/7/4 |
| 資料番号 | EMD97-23 |
| 巻番号（vol） | vol.97 |
| 号番号（no） | 149 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |