| 講演名 | 1997/5/16 ハードディスク媒体用スパッタカーボン系保護膜 千葉 隆, 有明 順, 大内 一弘, |
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| 抄録(和) | ハードディスク媒体の磁性層であるCoCr膜の上に機械的耐久性を向上させるためスパッタカーボン保護膜を堆積させた場合、堆積初期5nm程度の領域は、通常考えられているDLC(ダイヤモンド状カーボン)とはなっておらず、炭素原子の結合エネルギーの低い状態の膜となっている。窒素をスパッタガスとして成膜した窒化Cr上に堆積したスパッタカーボン膜の場合は、堆積初期からDLCが生成する。このCr膜を磁性層であるCoCr膜上に1nmつけることによって、その上に堆積するカーボン膜の堆積初期における炭素原子の結合エネルギーの低下が抑えられ、機械的耐久性が向上した。 |
| 抄録(英) | The initial growing layer of a sputtered-carbon film on a magnetic layer of CoCr film is not diamond like as we prospected. The initial layer of around 5nm shows lower binding energy of carbon atoms than that of carbon atoms in DLC. On the other hand, the initial layer of the sputtered-carbon film on Cr semi nitride film was DLC. We deposited a carbon film on Cr semi nitride film of 1nm thickness on the CoCr film. In this case decrease of the binding energy of the carbon atoms in the initial layer was smaller than that of carbon film directly deposited on CoCr film, resulting in the improved durability of the carbon film. |
| キーワード(和) | ハードディスク媒体 / スパッタカーボン保護膜 / 耐久性 / DLC / 炭素原子の結合エネルギー |
| キーワード(英) | rigid disk media / sputtered-carbon film / durability / DLC / binding energy of carbon atom |
| 資料番号 | EMD97-11 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD |
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| 開催期間 | 1997/5/16(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electromechanical Devices (EMD) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ハードディスク媒体用スパッタカーボン系保護膜 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Sputtered carbon thin protective layer for CoCr system alloy rigid disk media |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ハードディスク媒体 / rigid disk media |
| キーワード(2)（和/英） | スパッタカーボン保護膜 / sputtered-carbon film |
| キーワード(3)（和/英） | 耐久性 / durability |
| キーワード(4)（和/英） | DLC / DLC |
| キーワード(5)（和/英） | 炭素原子の結合エネルギー / binding energy of carbon atom |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 千葉 隆 / Takashi Chiba |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 秋田県高度技術研究所(AIT) AIT(Akita Research Institute of Advanced Technology) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 有明 順 / Jun Ariake |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 秋田県高度技術研究所(AIT) AIT(Akita Research Institute of Advanced Technology) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 大内 一弘 / Kazuhiro Ouchi |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 秋田県高度技術研究所(AIT) AIT(Akita Research Institute of Advanced Technology) |
| 発表年月日 | 1997/5/16 |
| 資料番号 | EMD97-11 |
| 巻番号（vol） | vol.97 |
| 号番号（no） | 44 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |