| 講演名 | 1997/4/18 Niマイクロマシニングによる櫛形静電駆動マイクロミラー 秋本 浩司, 上西 祐司, 本間 和晴, 長岡 新二, |
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| 抄録(和) | Si基板上にニッケルをめっきすることにより作製されるニッケルマイクロミラーは、櫛形電極アクチュエータにより広範囲かつ高精度に駆動可能である。本ニッケルマイクロミラーの光学的特性として反射率を、機械的特性として変位および共振周波数を評価した。反射率は先球ファイバを光プローブとして測定し、約63%の反射率を得た。変位と共振周波数は、光ファイバの垂直端面とマイクロミラーにより構成されるマイクロ光共振器を用いて測定し、最大変位が約10μm、共振周波数は約1.4kHzとなり、光波制御デバイス応用に際して十分な値を得た。 |
| 抄録(英) | A nickel micromirror which is fabricated by a nickel micromachining on a silicon wafer can be actuated by comb-drive actuators widely and precisely. As an optical characteristic, reflectance of the nickel micromirror is measured by using a hemi-spherical-end fiber, and it is estimated to be 63%. As mechanical characteristics, a displacement and a resonance frequency are measured by using a micro resonator which is constructed by a flat-end fiber facet and the micromirror as two parallel mirrors. The obtained maximum displacement was more than 10μm, and the resonance frequency was 1.4kHz, which are sufficient for the nickel micromirror to apply the tunable optical devices. |
| キーワード(和) | ニッケルマイクロマシニング / マイクロミラー / 櫛形電極アクチュエータ / エタロン / 光計測 |
| キーワード(英) | Nickel surface micromachining / Micromirror / Comb-drive actuator / Etalon / Optical measurement |
| 資料番号 | EMD97-3 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD |
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| 開催期間 | 1997/4/18(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electromechanical Devices (EMD) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | Niマイクロマシニングによる櫛形静電駆動マイクロミラー |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Comb-drive Nickel Micromirror Fabricated by Nickel Surface Micromachining |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ニッケルマイクロマシニング / Nickel surface micromachining |
| キーワード(2)（和/英） | マイクロミラー / Micromirror |
| キーワード(3)（和/英） | 櫛形電極アクチュエータ / Comb-drive actuator |
| キーワード(4)（和/英） | エタロン / Etalon |
| キーワード(5)（和/英） | 光計測 / Optical measurement |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 秋本 浩司 / Koji Akimoto |
| 第 1 著者 所属（和/英） | NTT 光エレクトロニクス研究所 NTT Opto-electronics Laboratories |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 上西 祐司 / Yuji Uenishi |
| 第 2 著者 所属（和/英） | NTT 光エレクトロニクス研究所 NTT Opto-electronics Laboratories |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 本間 和晴 / Kazuharu Honma |
| 第 3 著者 所属（和/英） | NTT アドバンステクノロジ NTT Advanced Technology |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 長岡 新二 / Shinji Nagaoka |
| 第 4 著者 所属（和/英） | NTT 光エレクトロニクス研究所 NTT Opto-electronics Laboratories |
| 発表年月日 | 1997/4/18 |
| 資料番号 | EMD97-3 |
| 巻番号（vol） | vol.97 |
| 号番号（no） | 12 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |