| 講演名 | 1997/4/18 マイクロアクチュエータとその応用 藤田 博之, 年吉 洋, |
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| 抄録(和) | 半導体マイクロマシニングで作るミクロンサイズのアクチュエータについて、その原理、構造、応用などを紹介する。静電気で動くマイクロミラーのアレイを用いた光スイッチ、形状記憶合金薄膜のマイクロアクチュエータ、ミリ波アンテナの走査用のマイクロアクチュエータ、スクラッチドライブ静電アクチュエータによる立体マイクロ構造の自己構築などを例に、最近の研究事例を述べる。また、自律分散マイクロシステムの概念について紹介する。 |
| 抄録(英) | Driving principles, configurations and applications of micromachined actuators are reviewed. Examples include (1)an optical matrix switch composed of arrayed torsional micromirrors which are driven by electrostatic force, (2)a microactuator using thin film shape memory alloy (TiNi), (3)a microactuator for scanning a microwave antenna, and (4)self-assembly of three-dimensional microstructures by scratch drive microactuators. A system architecture, an autonomous distributed micro system, is proposed to make best use of micromechatronic technology. |
| キーワード(和) | マイクロマシン / 光スイッチ / 形状記憶合金 / マイクロ波 / 立体マイクロ構造 / 自律分散システム |
| キーワード(英) | micromachines / optical switch / shape memory alloy / microwave / three-dimensional microstructures / autonomous distributed systems |
| 資料番号 | EMD97-1 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD |
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| 開催期間 | 1997/4/18(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electromechanical Devices (EMD) |
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| 本文の言語 | ENG |
| タイトル（和） | マイクロアクチュエータとその応用 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Actuators and their Applications |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | マイクロマシン / micromachines |
| キーワード(2)（和/英） | 光スイッチ / optical switch |
| キーワード(3)（和/英） | 形状記憶合金 / shape memory alloy |
| キーワード(4)（和/英） | マイクロ波 / microwave |
| キーワード(5)（和/英） | 立体マイクロ構造 / three-dimensional microstructures |
| キーワード(6)（和/英） | 自律分散システム / autonomous distributed systems |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 藤田 博之 / Hiroyuki Fujita |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京大学生産技術研究所第3部 Institute of Industrial Science, The University of Tokyo |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 年吉 洋 / Hiroshi Toshiyoshi |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京大学生産技術研究所第3部 Institute of Industrial Science, The University of Tokyo |
| 発表年月日 | 1997/4/18 |
| 資料番号 | EMD97-1 |
| 巻番号（vol） | vol.97 |
| 号番号（no） | 12 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
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