| 講演名 | 2001/6/20 GHz帯LSl内部波形計測用EOマイクロプローブの開発 品川 満, 橋本 千里, |
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| 抄録(和) | 高速高集積LSIの内部ノード波形を計測するために電気光学効果とレーザ光を利用したコンパクトで安価な接触型のEOマイクロプローブシステムを開発したので報告する。本システムは2μm以下の空間分解能と4.5GHzの測定帯域を有する。FIBにより微細配線上に観測パッドを形成することで、サブミクロン配線上のGHz電気信号を高精度に測定可能となった。本EOマイクロプローブをGHz帯で動作する通信用LSI内部ノードの波形評価に適用し、本プローブの有用性を示す。 |
| 抄録(英) | This paper describes an electro-optic (EO) microprobe for measuring internal-node waveform of GHz LSI's. The system has spatial resolution of less than 2μm and bandwidth of 4.5 GHz. The probe can measure GHz signal on sub-micron line by testing-pad with FIB technology. The probe has been successfully applied to waveform measurement of a GHz communication LSI. |
| キーワード(和) | 電気光学効果 / 半導体レーザ / フォトニクス / EOサンプリング / LSIテスティング / 内部ノード波形測定 / FIB |
| キーワード(英) | electro-optic effect / laser diode / photonics / electro-optic sampling / LSI testing / internal-node waveform measurement / FIB |
| 資料番号 | MW2001-44,OPE2001-31 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | MW |
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| 開催期間 | 2001/6/20(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Microwaves (MW) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | GHz帯LSl内部波形計測用EOマイクロプローブの開発 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | An Electro-optic Microprobe for Internal-node Waveform Measurement of GHz LSI's |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 電気光学効果 / electro-optic effect |
| キーワード(2)（和/英） | 半導体レーザ / laser diode |
| キーワード(3)（和/英） | フォトニクス / photonics |
| キーワード(4)（和/英） | EOサンプリング / electro-optic sampling |
| キーワード(5)（和/英） | LSIテスティング / LSI testing |
| キーワード(6)（和/英） | 内部ノード波形測定 / internal-node waveform measurement |
| キーワード(7)（和/英） | FIB / FIB |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 品川 満 / Mitsuru Shinagawa |
| 第 1 著者 所属（和/英） | NTT通信エネルギー研究所 NTT Telecommunications Energy Laboratories |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 橋本 千里 / Chisato Hashimoto |
| 第 2 著者 所属（和/英） | NTTエレクトロニクス NTT Electronics Corporation |
| 発表年月日 | 2001/6/20 |
| 資料番号 | MW2001-44,OPE2001-31 |
| 巻番号（vol） | vol.101 |
| 号番号（no） | 137 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |