| 講演名 | 2000/8/22 SCE2000-15 / MW2000-79 白金中間層上のYBa_2Cu_3O_<7-δ>薄膜成長 瀧 謙司, 鈴木 武雄, 榎本 陽一, 鈴木 克己, |
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| 抄録(和) | 高温超電導薄膜を高速の伝送線路として使用する高温超電導マルチチップモジュール(HTS-MCM)に興味が持たれている。これを実現するためには低誘電率材料上に高温超電導薄膜を形成する技術が必要である。低誘電率材料としてSiO_2アモルファス基板を用い、バッファー層としてPt薄膜を介し、YBCO薄膜を成膜することを試みた。Pt薄膜の膜質を制御し、膜厚を薄く140ÅとすることでYBCO薄膜のc軸成長を促し、Tc=70Kを得た。 |
| 抄録(英) | We are interested in high-temperature superconducting multi-chip module(HTS-MCM)substrate using high-temperature superconducting as high-speed high-frequency signal transmission lines interconnects between chips. HTS-MCM needs a technology to fabricate HTS thin film on the low dielectric constant material. We tried to deposit YBCO thin film on an amorphous synthetic quarts(SiO_2)substrate as the low dielectric constant material with a Pt thin film as a buffer layer. With controlling characteristics of the Pt thin film and with decreasing thickness of the Pt thin film, the growth of c-axis was accelerated and Tc(zero)of the YBCO thin film on SiO_2 substrates with the 140Å-thick Pt buffer layer was 70K. |
| キーワード(和) | 低誘電率材料 / YBCO / 白金バッファー層 |
| キーワード(英) | low dielectric constant material / YBCO / Pt buffer layer |
| 資料番号 | SCE2000-15,MW2000-79 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | MW |
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| 開催期間 | 2000/8/22(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Microwaves (MW) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | SCE2000-15 / MW2000-79 白金中間層上のYBa_2Cu_3O_<7-δ>薄膜成長 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | SCE2000-15 / MW2000-79 The growth of YBa_2Cu_3O_<7-δ> thin film on Pt buffer layer |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 低誘電率材料 / low dielectric constant material |
| キーワード(2)（和/英） | YBCO / YBCO |
| キーワード(3)（和/英） | 白金バッファー層 / Pt buffer layer |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 瀧 謙司 / Kenji Taki |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 超電導工学研究所田町研究所 Superconductivity Research Laboratory, ISTEC |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 鈴木 武雄 / Takeo Suzuki |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 超電導工学研究所田町研究所 Superconductivity Research Laboratory, ISTEC |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 榎本 陽一 / Youichi Enomoto |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 超電導工学研究所田町研究所 Superconductivity Research Laboratory, ISTEC |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 鈴木 克己 / Katumi Suzuki |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 超電導工学研究所田町研究所 Superconductivity Research Laboratory, ISTEC |
| 発表年月日 | 2000/8/22 |
| 資料番号 | SCE2000-15,MW2000-79 |
| 巻番号（vol） | vol.100 |
| 号番号（no） | 275 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |