講演名 2002/1/9
高性能InP/InGaAs DHBTデバイス技術
栗島 賢二, 井田 実, 渡邊 則之, 石井 清, 榎木 孝知, 佐野 栄一,
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抄録(和) 40Gbit/s光通信ICへの応用を目指して, InP DHBTのマニュファクチャビリティーについて検討を行った。炭素ドープInGaAsベースを採用し, InGaAs/InGaAsP/InP傾斜コレクタのバンドプロファイルを最適化することによって, 均一で高性能なDHBTを実現した。試作した素子は電流利得30,コレクタ耐圧BV_8V以上を示し, 電流密度が1mA/μm^2まで理想的なターンオン特性を示した。3インチ基板上に作製した68個の高周波トランジスタからは, V_1.2V, J_c0.5mA/μm^2というバイアス条件で, f_1131±2GHz, f_191±15GHzという良好な値が得られた。さらにECLゲートからなる1/2分周器を試作し40GHz以上の最高動作周波数を確認した。この値は, 従来のSHBTと比べて遜色ない値である。
抄録(英) We have investigated manufacturability of InP DHBTs for the applications to 40Gbit/s optical communications ICs. Our DHBTs feature a carbon-doped InGaAs base and an InGaAs/InGaAsP/InP step-graded collector with its conduction-band potential profile properly controlled by the doping dipole. The fabricated transistors yield current gain of 30,collector breakdown voltage, BV_, of over 8V, and ideal current turn-on behavior up to 1mA/μm^2. Sixty-eight transistors on a 3" substrate exhibit f_T of 131±2GHz and f_of 191±15GHz under the bias conditions of V_ 1.2V and J_c 0.5mA/μm^2. We also fabricated 1/2 static frequency divider ICs with ECL gates configuration and confirmed maximum operation frequency of over 40GHz. This valus is by no means inferior to that of dividers fabricated with conventional SHBTs.
キーワード(和) InP / ダブルへテロ接合 / コレクタ耐圧 / 電流ブロッキング / 炭素ドーピング / ターンオン電圧
キーワード(英) InP / double-hetrojunction / collector breakdown voltage / current blocking / carbon doping / turn-on voltage
資料番号 2001-ED-193,2001-MW-148,2001-ICD-190
発行日

研究会情報
研究会 ICD
開催期間 2002/1/9(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Integrated Circuits and Devices (ICD)
本文の言語 JPN
タイトル(和) 高性能InP/InGaAs DHBTデバイス技術
サブタイトル(和)
タイトル(英) Device Technologies for High-Performance InP DHBTs
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) InP / InP
キーワード(2)(和/英) ダブルへテロ接合 / double-hetrojunction
キーワード(3)(和/英) コレクタ耐圧 / collector breakdown voltage
キーワード(4)(和/英) 電流ブロッキング / current blocking
キーワード(5)(和/英) 炭素ドーピング / carbon doping
キーワード(6)(和/英) ターンオン電圧 / turn-on voltage
第 1 著者 氏名(和/英) 栗島 賢二 / Kenji KURISHIMA
第 1 著者 所属(和/英) 日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所
NTT Photonics Laboratories, Nippon Telegraph and Telephone Corporation
第 2 著者 氏名(和/英) 井田 実 / Minoru IDA
第 2 著者 所属(和/英) 日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所
NTT Photonics Laboratories, Nippon Telegraph and Telephone Corporation
第 3 著者 氏名(和/英) 渡邊 則之 / Noriyuki WATANABE
第 3 著者 所属(和/英) 日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所
NTT Photonics Laboratories, Nippon Telegraph and Telephone Corporation
第 4 著者 氏名(和/英) 石井 清 / Kiyoshi ISHII
第 4 著者 所属(和/英) 日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所
NTT Photonics Laboratories, Nippon Telegraph and Telephone Corporation
第 5 著者 氏名(和/英) 榎木 孝知 / Takatomo ENOKI
第 5 著者 所属(和/英) 日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所
NTT Photonics Laboratories, Nippon Telegraph and Telephone Corporation
第 6 著者 氏名(和/英) 佐野 栄一 / Eiich SANO
第 6 著者 所属(和/英) 日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所:(現)北海道大学量子集積エレクトロニクス研究センタ
NTT Photonics Laboratories, Nippon Telegraph and Telephone Corporation : (Present address) Research Center for Integrated Quantum Electronics, Hokkaido University
発表年月日 2002/1/9
資料番号 2001-ED-193,2001-MW-148,2001-ICD-190
巻番号(vol) vol.101
号番号(no) 555
ページ範囲 pp.-
ページ数 6
発行日