| 講演名 | 2000/1/20 低損失フィルタを内蔵したミリ波フリップチップIC 高橋 和晃, 藤田 卓, 寒川 潮, 浦部 丈晴, 小倉 洋, 矢吹 博幸, |
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| 抄録(和) | シリコンマイクロマシン加工による低損失フィルタと、フリップチップ実装した能動デバイスにより集積化された、新しい構造のミリ波受信フロントエンドICを提案する。インバーテッド線路構造を用いてシリコン基板上に低損失のフィルタを実現するとともに、BCB薄膜多層とフリップチップ実装技術を用いて小型、高性能のミリ波フリップチップICを実現した。これらの技術を用いて、25GHz帯における低損失フィルタを内蔵した受信フロントエンドICを開発し、小型化、高性能化に対する有効性を実証した。 |
| 抄録(英) | A novel three-dimensional K-band receiver front-end IC was developed in which a micromachined low-loss filter and flip-chip devices were integrated on a sillicon substrate. An inverted microstrip line is newly introduced in the filter, and a compact low loss RF filter was realized on a silicon substrate. Multi-layered BCB and flip-chip bonding technologies ware also adopted. These technologies realize a highly compact high-performance millimeter-wave flip-chip IC (MFIC), with built-in low loss filer. A 25 GHz receiver front-end IC was demonstrated which was realized on a 11 mm by 11 mm sillicon chip |
| キーワード(和) | マイクロマシン加工 / シリコン / フィルタ / BCB / フリップチップ |
| キーワード(英) | micromachining / silicon / filter / BCB / flip-chip |
| 資料番号 | ED99-277,MW99-201,ICD99-252 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ICD |
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| 開催期間 | 2000/1/20(から1日開催) |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Integrated Circuits and Devices (ICD) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 低損失フィルタを内蔵したミリ波フリップチップIC |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Millimeter-wave Flip-Chip IC with Built-in Low-Loss Filter on Silicon |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | マイクロマシン加工 / micromachining |
| キーワード(2)（和/英） | シリコン / silicon |
| キーワード(3)（和/英） | フィルタ / filter |
| キーワード(4)（和/英） | BCB / BCB |
| キーワード(5)（和/英） | フリップチップ / flip-chip |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 高橋 和晃 / Kazuuaki TAKAHASHI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 松下技研株式会社移動体通信研究所 Mobile Communication Resarch Laboratory, Matsushita Research Institute Tokyo, Inc. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 藤田 卓 / Suguru Fujita |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 松下技研株式会社移動体通信研究所 Mobile Communication Research Laboratory, Matsushita Research Institute Tokyo, Inc. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 寒川 潮 / Usio SANGAWA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 松下技研株式会社移動体通信研究所 Mobile Communication Research Laboratory, Matsushita Research Institute Tokyo, Inc. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 浦部 丈晴 / Takeharu URABE |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 松下技研株式会社超機構研究所 Opto-Electro Mechanics Research Laboratory, Matsushita Research Institute Tokyo, Inc. |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 小倉 洋 / Hiroshi OGURA |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 松下技研株式会社超機構研究所 Opto-Electro Mechanics Research Laboratory, Matsushita Research Institute Tokyo, Inc. |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 矢吹 博幸 / Hiroyuki YABUKI |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 松下技研株式会社移動体通信研究所 Mobile Communication Research Laboratory, Matsushita Research Institute Tokyo, Inc. |
| 発表年月日 | 2000/1/20 |
| 資料番号 | ED99-277,MW99-201,ICD99-252 |
| 巻番号（vol） | vol.99 |
| 号番号（no） | 560 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |