| 講演名 | 2000/1/20 薄膜多層電極を用いた誘電体共振器とその低温特性 松井 則文, 日高 青路, 中野 充, 服部 準, 石川 容平, |
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| 抄録(和) | 導体損失低減の新たな技術として薄膜多層電極を提案し、その設計理論を示す。常温動作設計で積層数最大25層の薄膜多層電極を応用した共振器を試作し、4.42倍の導体Q上昇率を確認した。また、低温(液体窒素温度)動作のための設計手法を示した。それに従い低温動作薄膜多層電極共振器を試作し、積層数5層の共振器においてQ上昇率として約2倍を得た。 |
| 抄録(英) | A novel low loss technology of the thin film layered electrode (TFLE) is proposed. The designing method of TFLE is described. We fabricated resonators using TFLE with conductor layer of up to 25 and confirmed that the ratio of conductor Q improved is 4.42 compared to a resonator using conventional single layer electrode. We also describe the designing method of TFLE for low temperature (Liquid Nitrogen Temperature) operation. The resonator using TFLE designed for low temperature operation with 5 layers has 2 times higher conductor Q than that of single layer electrode. |
| キーワード(和) | 薄膜多層電極 / 誘電体共振器 / 液体窒素温度 / 導体損失 / 表皮効果 |
| キーワード(英) | TFLE / Dielectric Resonator / Liquid Nitrogen Temperature / Conductor Loss / Skin effect |
| 資料番号 | ED99-272,MW99-196,ICD99-247 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ICD |
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| 開催期間 | 2000/1/20(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Integrated Circuits and Devices (ICD) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 薄膜多層電極を用いた誘電体共振器とその低温特性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Dielectric Resonator with Thin Film Layered Electrode and its Low Temperature Operation |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 薄膜多層電極 / TFLE |
| キーワード(2)（和/英） | 誘電体共振器 / Dielectric Resonator |
| キーワード(3)（和/英） | 液体窒素温度 / Liquid Nitrogen Temperature |
| キーワード(4)（和/英） | 導体損失 / Conductor Loss |
| キーワード(5)（和/英） | 表皮効果 / Skin effect |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 松井 則文 / N. Matsui |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 株式会社村田製作所 Murata Manufacturing Co., Ltd. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 日高 青路 / S. Hidaka |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 株式会社村田製作所 Murata Manufacturing Co., Ltd. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 中野 充 / M. Nakano |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 株式会社村田製作所 Murata Manufacturing Co., Ltd. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 服部 準 / J. Hattori |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 株式会社村田製作所 Murata Manufacturing Co., Ltd. |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 石川 容平 / Y. Ishikawa |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 株式会社村田製作所 Murata Manufacturing Co., Ltd. |
| 発表年月日 | 2000/1/20 |
| 資料番号 | ED99-272,MW99-196,ICD99-247 |
| 巻番号（vol） | vol.99 |
| 号番号（no） | 560 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
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