講演名 1999/7/23
Properties of MFSFET's with Various Gate Electrodes Using LiNbO_3/Si (100) Structures
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抄録(和)
抄録(英) MFSFET's with various gate electrodes, that are aluminum, platinum and poly-Si, using LiNbO_3/Si (100) structures were fabricated and the properties of the FET's have been discussed. The gate leakage current density of the MFS device using a Pt electrode showed the least value of low 10^<-8> A/cm^2 orders at the field of 500 kV/ cm. The drain current as a function of retention time of the FET using Pt electrode remained almost the same value of its initial value over 2 days at room temperature.
キーワード(和)
キーワード(英) Gate electrode dependence / Ferroelectric film / LiNbO_3/Si (100) structure / MFSFET / Non-volatile memory
資料番号 ICD99-119
発行日

研究会情報
研究会 ICD
開催期間 1999/7/23(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Integrated Circuits and Devices (ICD)
本文の言語 ENG
タイトル(和)
サブタイトル(和)
タイトル(英) Properties of MFSFET's with Various Gate Electrodes Using LiNbO_3/Si (100) Structures
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) / Gate electrode dependence
第 1 著者 氏名(和/英) / Kwang-Ho Kim
第 1 著者 所属(和/英)
Department of Semiconductor Engineering, Cheongju University
発表年月日 1999/7/23
資料番号 ICD99-119
巻番号(vol) vol.99
号番号(no) 234
ページ範囲 pp.-
ページ数 6
発行日