| 講演名 | 1998/7/23 Evaluation of tailored perovskite electrode for(Ba, Sr)TiO_3 , |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | Electrical properties of(Ba, Sr)TiO_3 thin films were investigated in terms of the microstructure and composition of the perovskite (Sr, Ca)RuO_3 bottom electrode. SCR electrode led to the leakage current density(10^<-7>A/cm^2)of BST films about an order lower than that on RuO_2.The leakage current was not sensitive to the composition of SCR electrodes, while the dielectric constant of BST/SCR thin film capacitor ranged from 160 to 280 depending on the Sr/Ca ratio in SCR electrodes.The BST/SCR system resulted in a 5-nm-thick interfacial layer which is about a half of that in BST/Pt.Furthermore, that interfacial layer turned out to be partially crystallized from the lattice image taken by HRTEM.Therefore, the enhancement in electrical properties of BST films is from the improvement of interfacial characteristics originated from the structural matching. |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | (Ba, Sr)TiO_3 / (Sr, Ca)RuO_3 / leakage current / dielectric constant / interfacial characteristics |
| 資料番号 | SDM98-90,ICD98-89 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ICD |
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| 開催期間 | 1998/7/23(から1日開催) |
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| 開催地（英） | |
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| テーマ（英） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Integrated Circuits and Devices (ICD) |
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| 本文の言語 | KOR |
| タイトル（和） | |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Evaluation of tailored perovskite electrode for(Ba, Sr)TiO_3 |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | / (Ba, Sr)TiO_3 |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | / Dyun-Kyun Choi |
| 第 1 著者 所属（和/英） | Department of Inorganic Materials Engineering, Hanyang University |
| 発表年月日 | 1998/7/23 |
| 資料番号 | SDM98-90,ICD98-89 |
| 巻番号（vol） | vol.98 |
| 号番号（no） | 195 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |