| 講演名 | 1993/10/22 2/3インチ40万画素低残像積層型CCDイメージセンサー 佐々木 道夫, 井原 久典, 松長 誠之, |
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| 抄録(和) | アモルファスシリコン積層型CCDイメージセンサーは高感度,低スミアという優れた特性を有する一方で,高輝度の被写体を撮像した時に生じる高輝度残像と,逆バイアスされた蓄積ダイオードで発生するリーク電流による団体パターン雑音という2つの課題が残っていた。今回筆者等は,アモルファスシリコン内にバイアス電荷を注入して,内部のエネルギー準位を予め不活性化させるとにより,高輝度残像を視認限界以下に抑圧することができた。また,センサーレイアウトをFIT構造とすることで,蓄積ダイオードの逆バイアス電圧0.6Vに減少させることが可能になり,固定パターン雑音を従来の1, 10の30電子_p-p>に低減することができた。 |
| 抄録(英) | A 2, 3 inch 400k pixel Frame Interline Transfer CCD overlaid with amorphous silicon photoconversion layer utiliges bias-charge injection to suppress image sticking below the ditection limit 20th field after 10,000x times standard incident illumination. The sensor achieves an fixed pattern noise of 30 electrons_p-p> at 60℃ with 0.6V reverse biased storage diode. |
| キーワード(和) | CCD / アモルファスシリコン / 高輝度残像 / 固定パターン雑音 |
| キーワード(英) | CCD / Amorphous Silicon / Image Sticking / Fixed Pattern Noise |
| 資料番号 | ICD93-122 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ICD |
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| 開催期間 | 1993/10/22(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Integrated Circuits and Devices (ICD) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 2/3インチ40万画素低残像積層型CCDイメージセンサー |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | A 2/3″ 400k Pixel Sticking-Free Stack-CCD Image Sensor. |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | CCD / CCD |
| キーワード(2)（和/英） | アモルファスシリコン / Amorphous Silicon |
| キーワード(3)（和/英） | 高輝度残像 / Image Sticking |
| キーワード(4)（和/英） | 固定パターン雑音 / Fixed Pattern Noise |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 佐々木 道夫 / Michio Sasaki |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東芝研究開発センターULSI研究所 ULSI Laboratories Research and Development Center,TOSHIBA Corporation |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 井原 久典 / Hisanori Ihara |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東芝研究開発センター材料デバイス研究所 Material and Device Laboratories,R&D Center TOSHIBA Corporation |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 松長 誠之 / Yoshiyuki Matsunaga |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東芝研究開発センターULSI研究所 ULSI Laboratories Research and Development Center,TOSHIBA Corporation |
| 発表年月日 | 1993/10/22 |
| 資料番号 | ICD93-122 |
| 巻番号（vol） | vol.93 |
| 号番号（no） | 288 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 8 |
| 発行日 | |