講演名 1997/7/25
基板/酸化膜および酸化膜/ゲート界面の微細構造制御による酸化膜信頼性の向上
由上 二郎, 峰 利之, 糸賀 敏彦, 大倉 理,
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抄録(和) CMOSやFLASHメモリ等の次世代半導体の信頼性を確保しつつ, 更なる高速化, 低電力化及び高集積化を達成するためには, ゲート酸化膜信頼性の向上が必須な課題である.MOSFET構造におけるゲート酸化膜は, 基板/酸化膜界面, 酸化膜, 酸化膜/ゲート電極界面の三つの構成要素からなる. 従って, 酸化膜信頼性を議論するためには, これらの三つの構成要素をそれぞれ制御する必要がある. 本報告では, (1)密閉式洗浄ーロードロック酸化装置による一貫ゲート酸化膜形成技術, および(2)超薄膜CVD技術を用いたゲート電極構造制御技術, を用いて上記二つの界面を制御した実験において, 酸化膜信頼性が向上した結果について述べる.
抄録(英) For future ULSIs, the oxide reliability problem is key issue to realize low power, high-speed devices keeping it's reliability. In MOSFET structure, gate oxide consist from substrate/oxide interface, oxide and oxide/gate interface. Therefore, to improve oxide reliability, it is important to control these three component structures individually. In this report, experiments to control structures of above two interfaces using (1) combination of closed wet cleaning system and load-lock oxidation system and (2) ultra-thin film deposition CVD technique are described. By controlling these structures, the oxide reliability improved.
キーワード(和) ゲート酸化膜 / 信頼性 / 界面構造
キーワード(英) gate oxide / oxide reliability / interface structure
資料番号 ICD97-83
発行日

研究会情報
研究会 ICD
開催期間 1997/7/25(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Integrated Circuits and Devices (ICD)
本文の言語 ENG
タイトル(和) 基板/酸化膜および酸化膜/ゲート界面の微細構造制御による酸化膜信頼性の向上
サブタイトル(和)
タイトル(英) Oxide Reliability Improvement Controlling Microstructures of Substrate/Oxide and Oxide/Gate Interfaces
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) ゲート酸化膜 / gate oxide
キーワード(2)(和/英) 信頼性 / oxide reliability
キーワード(3)(和/英) 界面構造 / interface structure
第 1 著者 氏名(和/英) 由上 二郎 / Jiro Yugami
第 1 著者 所属(和/英) (株)日立製作所中央研究所
Central Research Laboratory, Hitachi., Ltd.
第 2 著者 氏名(和/英) 峰 利之 / Toshiyuki Mine
第 2 著者 所属(和/英) (株)日立製作所中央研究所
Central Research Laboratory, Hitachi., Ltd.
第 3 著者 氏名(和/英) 糸賀 敏彦 / Toshihiko Itoga
第 3 著者 所属(和/英) (株)日立製作所中央研究所
Central Research Laboratory, Hitachi., Ltd.
第 4 著者 氏名(和/英) 大倉 理 / Makoto Ohkura
第 4 著者 所属(和/英) (株)日立製作所中央研究所
Central Research Laboratory, Hitachi., Ltd.
発表年月日 1997/7/25
資料番号 ICD97-83
巻番号(vol) vol.97
号番号(no) 198
ページ範囲 pp.-
ページ数 7
発行日