| 講演名 | 1997/7/25 Bird's Beak free LOCOS Isolation for 256M DRAM , |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | A simple and bird's beak free isolation technology using LOCOS for 256M DRAM scale device is developed. In general, the length of bird's beak is controled under the ratio of pad nitride layer thickness and pad oxide layer thickness. To minimize the length of bird's beak, we use the native oxide created on the top of the chemically cleaned Si substrate as a pad oxide. With lowering the field oxidation ambient temperature to 950℃, the defects due to excess stress of the pad nitride layer disappeared and the length of bird's beak is more reduced. The evaluation of the electrical characteristics is in progress, but some results show that there are many points to be improved. |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | LOCOS / Isolation / Bird's Beak / Field Oxide / 256M DRAM / junction leakage current |
| 資料番号 | ICD97-81 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ICD |
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| 開催期間 | 1997/7/25(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Integrated Circuits and Devices (ICD) |
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| 本文の言語 | ENG |
| タイトル（和） | |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Bird's Beak free LOCOS Isolation for 256M DRAM |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | / LOCOS |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | / Cheol Soo Park |
| 第 1 著者 所属（和/英） | Memory Research & Development Division, Hyundai Electronics |
| 発表年月日 | 1997/7/25 |
| 資料番号 | ICD97-81 |
| 巻番号（vol） | vol.97 |
| 号番号（no） | 198 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |