講演名 2001/6/30
The InP-HEMT IC Technology for 40-Gbit/s Optical Communications
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抄録(和)
抄録(英) The InP-HEMT IC technology is outlined. This technology realize the integration of 0.1 um gate length HEMTs, vertical diodes, capacitors and WSiN resistors with two level interconnections. The InP-HEMT degradation mode is investigated. The increase in Rd is the critical condition for 100 C use. InAlP-CSL(carrier supply layer)-HEMTs have 100 times longer lifetime than the usual InAlAs-CSL-HEMTs. This HEMT lifetime is 10^7 hours at 100 C. This technology realizes 43 Gbit/s operating SSIs and MSIs with practical yield, successfully.
キーワード(和)
キーワード(英) compound semiconductor / InP / InAlP / InAlAs / GaInAs / IC / HEMT
資料番号 ED2001-95,SDM2001-102
発行日

研究会情報
研究会 SDM
開催期間 2001/6/30(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Silicon Device and Materials (SDM)
本文の言語 ENG
タイトル(和)
サブタイトル(和)
タイトル(英) The InP-HEMT IC Technology for 40-Gbit/s Optical Communications
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) / compound semiconductor
第 1 著者 氏名(和/英) / Yasuro Yamane
第 1 著者 所属(和/英)
NTT Photonics Laboratories
発表年月日 2001/6/30
資料番号 ED2001-95,SDM2001-102
巻番号(vol) vol.101
号番号(no) 165
ページ範囲 pp.-
ページ数 8
発行日