講演名 | 2001/5/18 反応性蒸着過程におけるMn蒸発物の酸化防止策 以西 雅章, 島田 剛喜, 松井 才明, 藤安 洋, |
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抄録(和) | Li二次電池の正極物質として、Mn酸化物が注目されている。Mn酸化物薄膜は反応性蒸着法により生成しているが、蒸着を繰り返すとるつぼ中の金属Mnが酸化するという問題がある。本研究では、金属Mnを入れる容器を開発し性能を評価した。これにより、Mnの蒸着速度の再現性が増した。 |
抄録(英) | Manganese oxide films have been focused for the positive electrode in the Li secondary batteries. One of the problems is the oxidation of Mn evaporant during the reactive evaporation process. We developed a new cell which successfully keeps off the oxidation of Mn evaporant. The cell performance was evaluated. The reproducibility of the deposition rate was improved by this method. |
キーワード(和) | Li二次電池 / マンガン酸化物薄膜 / Li-Mnスピネル構造 / 反応性蒸着法 |
キーワード(英) | Li secondary batteries / Manganese oxide films / Li-Mn spinel structure / Reactive evaporation |
資料番号 | ED2001-30,CPM2001-17,SDM2001-30 |
発行日 |
研究会情報 | |
研究会 | SDM |
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開催期間 | 2001/5/18(から1日開催) |
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幹事補佐氏名(英) |
講演論文情報詳細 | |
申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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本文の言語 | JPN |
タイトル(和) | 反応性蒸着過程におけるMn蒸発物の酸化防止策 |
サブタイトル(和) | |
タイトル(英) | A technique of keeping off the oxidation of Mn evaporant during reactive evaporation |
サブタイトル(和) | |
キーワード(1)(和/英) | Li二次電池 / Li secondary batteries |
キーワード(2)(和/英) | マンガン酸化物薄膜 / Manganese oxide films |
キーワード(3)(和/英) | Li-Mnスピネル構造 / Li-Mn spinel structure |
キーワード(4)(和/英) | 反応性蒸着法 / Reactive evaporation |
第 1 著者 氏名(和/英) | 以西 雅章 / Masaaki Isai |
第 1 著者 所属(和/英) | 静岡大学工学部電気・電子工学科 Department of Electrical & Electronics, Faculty of Engineering, Shizuoka University |
第 2 著者 氏名(和/英) | 島田 剛喜 / Takeyoshi Shimada |
第 2 著者 所属(和/英) | 静岡大学工学部電気・電子工学科 Department of Electrical & Electronics, Faculty of Engineering, Shizuoka University |
第 3 著者 氏名(和/英) | 松井 才明 / Takaaki Matsui |
第 3 著者 所属(和/英) | 静岡大学工学部電気・電子工学科 Department of Electrical & Electronics, Faculty of Engineering, Shizuoka University |
第 4 著者 氏名(和/英) | 藤安 洋 / Hiroshi Fujiyasu |
第 4 著者 所属(和/英) | 静岡大学工学部電気・電子工学科 Department of Electrical & Electronics, Faculty of Engineering, Shizuoka University |
発表年月日 | 2001/5/18 |
資料番号 | ED2001-30,CPM2001-17,SDM2001-30 |
巻番号(vol) | vol.101 |
号番号(no) | 83 |
ページ範囲 | pp.- |
ページ数 | 6 |
発行日 |